[发明专利]一种透射型扫描电子显微镜在审
| 申请号： | 202310932075.2 | 申请日： | 2023-07-27 |
| 公开（公告）号： | CN116936323A | 公开（公告）日： | 2023-10-24 |
| 发明（设计）人： | 王瑞华;庞帅;王均 | 申请（专利权）人： | 南京默思泰智能科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/28 | 分类号： | H01J37/28;H01J37/20;H01J37/244;H01J37/02;G01N23/2251;G01N23/2202;G01N23/2204 |
| 代理公司： | 苏州博格华瑞知识产权代理事务所(普通合伙) 32558 | 代理人： | 匡立岭 |
| 地址： | 210000 江苏省南京市麒麟科技*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明公开了一种透射型扫描电子显微镜，包括：工作台以及设置在工作台表面的扫描组件、样品台、调整组件、操作台和真空泵，所述工作台表面固定有支撑架，所述扫描组件固定在所述支撑架侧面，所述扫描组件表面固定有检测组件，所述调整组件固定在所述工作台表面，所述样品台搭接在所述调整组件表面。该透射型扫描电子显微镜，通过调整扫描组件的位置，使得扫描组件能够一直保持对样品的进行最佳分辨率下的图像扫描，避免出现电子束穿透到样品的深层时，由于电子的散射和吸收等现象，电子束的强度和分辨率会逐渐降低，导致图像变得模糊的问题，同时切片后再次进行电子扫描能够在对较厚样品进行扫描时，提供样品内部的连续三维图像。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 透射 扫描 电子显微镜 | ||
【主权项】：
暂无信息
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