[发明专利]一种RGB器件及其制备方法在审

专利信息
申请号: 202310939583.3 申请日: 2023-07-27
公开(公告)号: CN116936705A 公开(公告)日: 2023-10-24
发明(设计)人: 王思维;方士伟;葛明月 申请(专利权)人: 星钥(珠海)半导体有限公司
主分类号: H01L33/24 分类号: H01L33/24;H01L33/06;H01L33/00;H01L27/15
代理公司: 广州三环专利商标代理有限公司 44202 代理人: 郑晓璇
地址: 519000 广东省珠海市*** 国省代码: 广东;44
权利要求书: 暂无信息 说明书: 暂无信息
摘要: 发明提供了一种RGB器件及其制备方法,该器件包括由多步刻蚀工艺依次连接的基底缓冲层、n型氮化镓层、多量子阱结构、p型氮化镓层和电极连接层;所述基底缓冲层通过隔离层与所述p型氮化镓层及多量子阱结构隔离;所述电极连接层在非连接位置通过隔离层与所述p型氮化镓层及基底缓冲层隔离,并通过隔离层与外部隔离;所述n型氮化镓层和p型氮化镓层均与所述多量子阱结构接触,以使n型氮化镓和p型氮化镓与多量子阱结构顶部或四周接触。本发明所制备的RGB器件,通过多步刻蚀工艺令n型氮化镓和p型氮化镓均与多量子阱结构接触,其顶部及四周均可发光,可以有效增加器件单位面积内可排布的像素点,有利于RGB器件进一步微型化应用。
搜索关键词: 一种 rgb 器件 及其 制备 方法
【主权项】:
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  • 秦志磊;吴政;王志远;李佳恩 - 厦门三安光电有限公司
  • 2022-10-20 - 2022-12-30 - H01L33/24
  • 本发明提供一种微型发光二极管及其制备方法、移转方法。微型发光二极管至少可包括:外延结构及设于外延结构上的连接电极和粗化部。外延结构具有相对的第一表面和第二表面,第一表面的纵向截面为平面,第二表面的纵向截面包括连续的第一部分、第二部分和第三部分,第一部分和第三部分朝向外延结构的发光区外侧的轮廓线呈曲面,第二部分为平面。连接电极位于外延结构的上方,且与外延结构电性连接。粗化区域于外延结构的下方,且位于第二表面远离第一表面一侧的部分表面。粗化部可作为外延结构的连接面或接触面,以与其它层级结构相连接。
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