[发明专利]一种垂直腔面发射激光器在审
| 申请号： | 202310985182.1 | 申请日： | 2023-08-04 |
| 公开（公告）号： | CN116937322A | 公开（公告）日： | 2023-10-24 |
| 发明（设计）人： | 孟红玲;贾晓卫 | 申请（专利权）人： | 中科启迪光电子科技（广州）有限公司 |
| 主分类号： | H01S5/06 | 分类号： | H01S5/06;H01S5/042;H01S5/183;H01S5/34 |
| 代理公司： | 北京华清迪源知识产权代理有限公司 11577 | 代理人： | 丁彦峰 |
| 地址： | 510535 广东省广州*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明公开了一种垂直腔面发射激光器，包括衬底、设置在衬底上的AlN层、设置在AlN层上且位于AlN层中部的N型欧姆接触层、设置在N型欧姆接触层上的谐振单元，以及P型电极和N型电极；谐振单元包括由下至上依次设置在N型欧姆接触层上的下层DBR、有源区、氧化限制层、上层DBR和P型欧姆接触层；AlN层上还设置有加热丝，且加热丝位于N型欧姆接触层外侧。本申请通过在衬底上增加AlN层，并在AlN层上设置加热丝，加热丝作为激光器的控温结构，使得激光器的控温结构与激光器制备在一起，有效减少了激光器的温度控制系统的体积，同时，减少热传递时间，使得激光器的温度调控更加迅速，进而使激光器的激射波长更加稳定，使用效果好。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 垂直 发射 激光器 | ||
【主权项】：
暂无信息
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