[发明专利]一种在线监控的光刻胶反应釜在审
申请号: | 202311209557.1 | 申请日: | 2023-09-19 |
公开(公告)号: | CN116920774A | 公开(公告)日: | 2023-10-24 |
发明(设计)人: | 古展帆;张国聪;黄琦琦;闵友福 | 申请(专利权)人: | 福建德尔科技股份有限公司 |
主分类号: | B01J19/18 | 分类号: | B01J19/18;B01D29/50;B01D29/68;G01H17/00 |
代理公司: | 厦门大程丰创知识产权代理有限公司 35332 | 代理人: | 黄伟敏 |
地址: | 364200 福建省龙岩*** | 国省代码: | 福建;35 |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: | 本发明公开了一种在线监控的光刻胶反应釜,包括釜体;监测机构,包含抽料泵、以及连接到所述釜体内部的进料管、出料管,所述进料管内固定安装有滤网,所述滤网外侧的进料管上安装有用于对声音信号进行获取的声音传感器;搅拌机构,包含转动安装于釜体内的搅拌轴,所述搅拌轴的两侧固接有若干个相应的搅拌板;搅拌加强机构,所述搅拌板的中部分别贯穿设置有相应的插接口,所述搅拌加强机构包含可移动插接于所述插接口处的搅拌加强板;当所述搅拌轴的搅拌速度超过第一阈值时,所述搅拌加强板向下移动至所述插接口的外侧,以增加对物料的搅拌面积。本发明能够有效便捷对产品的反应进程进行监测,且能够有效保持检测精度。 | ||
搜索关键词: | 一种 在线 监控 光刻 反应 | ||
【主权项】:
暂无信息
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