[发明专利]通过分解有机硅烷生产二氧化硅的方法有效
申请号: | 99127074.6 | 申请日: | 1999-12-28 |
公开(公告)号: | CN1258651A | 公开(公告)日: | 2000-07-05 |
发明(设计)人: | G·S·罗巴;M·阿里蒙迪 | 申请(专利权)人: | 皮雷利·卡维系统有限公司 |
主分类号: | C03B37/014 | 分类号: | C03B37/014;C03B19/14;C01B3/12 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人: | 孙爱 |
地址: | 意大*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 一种生产高纯光学氧化硅预制棒的方法,该方法包括a)气化有机硅化合物;b)热分解气态的所说有机硅化合物,从而形成无定型熔融氧化硅颗粒;c)将所说的无定型熔融氧化硅颗粒沉积在载体上;其中所说的有机硅化合物具有以下通式,其中,R1,R2、R3和R4具有在正文中给出的定义。 | ||
搜索关键词: | 通过 分解 有机 硅烷 生产 二氧化硅 方法 | ||
【主权项】:
1.生产高纯光学氧化硅预制棒的方法,该方法包括:a)气化有机硅化合物;b)热分解气态的所说有机硅化合物,从而形成无定型熔融氧化硅颗粒;c)将所说的无定型熔融氧化硅颗粒沉积在载体上;并且该方法特征在于:所说的有机硅化合物具有以下通式:其中,R1,R2和R3各自独立地是氢,甲基,乙基,丙基,异丙基,或通式为-Si-(R5 R6 R7)的基团,其中R5,R6和R7各自独立地是甲基,乙基,丙基,异丙基,R4是通式为-(CH2)m-Si-(R5 R6 R7)-的基团,式中,R5,R6和R7按如上定义,而m是1-3的整数。
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