一种适用于MEMS模态局部化传感器的环状耦合系统

专利号：CN202111236440.3

公布日：2022-03-22

申请人：西北工业大学

含多柔性结合部梁的拉、压、弯扭耦合边界元法

专利号：CN02139538.1

公布日：2003-04-30

申请人：西安理工大学

一种微机械谐振器

专利号：CN201310278034.2

公布日：2013-10-23

申请人：广东合微集成电路技术有限公司

一种差分谐振器及MEMS传感器

专利号：CN201910606444.2

公布日：2019-10-08

申请人：瑞声科技（南京）有限公司

一种MEMS高精度谐振梁闭环控制陀螺仪及其制造工艺

专利号：CN201310221840.6

公布日：2014-12-17

申请人：中国科学院地质与地球物理研究所

一种基于模态局部化效应的高阶模态微质量传感器

专利号：CN202010186923.6

公布日：2021-08-03

申请人：大连理工大学

一种微机械陀螺仪及电子产品

专利号：CN202310344613.6

公布日：2023-06-30

申请人：瑞声开泰科技（武汉）有限公司

一种弱耦合谐振器

专利号：CN202011463918.1

公布日：2021-04-02

申请人：大连理工大学

一种不同阶模态耦合的模态局部化微质量传感器

专利号：CN202011463988.7

公布日：2021-09-17

申请人：大连理工大学

耦合谐振的谐振式应变传感器

专利号：CN201510392361.X

公布日：2019-08-27

申请人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所

一种采用多振子耦合的微机械谐振器

专利号：CN202211640819.5

公布日：2023-04-14

申请人：安徽芯动联科微系统股份有限公司;北京芯动致远微电子技术有限公司

微机电系统谐振器

专利号：CN202222714245.3

公布日：2023-01-17

申请人：麦斯塔微电子（深圳）有限公司

抗环境振动影响的微机械陀螺仪

专利号：CN201610986332.0

公布日：2020-07-03

申请人：沈丹

抗环境振动影响的微机械陀螺仪

专利号：CN201621209193.2

公布日：2017-05-10

申请人：刘亚婷

一种机架组合结构装置

专利号：CN201710721945.6

公布日：2017-12-29

申请人：南通牧野机械有限公司