[发明专利]一种MEMS高精度谐振梁闭环控制陀螺仪及其制造工艺有效
申请号: | 201310221840.6 | 申请日: | 2013-06-05 |
公开(公告)号: | CN104215231A | 公开(公告)日: | 2014-12-17 |
发明(设计)人: | 于连忠;张忠山;孙晨 | 申请(专利权)人: | 中国科学院地质与地球物理研究所 |
主分类号: | G01C19/5656 | 分类号: | G01C19/5656;G01C19/5663 |
代理公司: | 北京金之桥知识产权代理有限公司 11137 | 代理人: | 林建军 |
地址: | 100029 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 一种MEMS高精度谐振梁闭环控制陀螺仪,包括:测量体、上盖板及下盖板,所述测量体包括基座、耦合框、与耦合框相连接的质量块以及位于所述质量块中心的固定块;所述基座以及所述固定块与所述上盖板及所述下盖板相固定连接;所述质量块与所述耦合框通过多个弹性梁相连接;所述质量块与所述固定块之间设置有第一梳状耦合结构;所述耦合框的一侧设置有支撑梁;所述耦合框通过所述支撑梁与所述基座相连接;所述耦合框的侧壁的上部及下部分别设置有谐振梁,所述谐振梁一端与所述耦合框相连接,另一端分别与基座相连接;所述谐振梁与所述基座之间还设置有第二梳状耦合结构;所述谐振梁以及所述第二梳状耦合结构用于检测转动角速度。 | ||
搜索关键词: | 一种 mems 高精度 谐振 闭环控制 陀螺仪 及其 制造 工艺 | ||
【主权项】:
一种MEMS高精度谐振梁闭环控制陀螺仪,包括:测量体、上盖板及下盖板,其特征在于,所述测量体包括基座、耦合框、与耦合框相连接的质量块以及位于所述质量块中心的固定块;所述基座以及所述固定块与所述上盖板及所述下盖板相固定连接;所述质量块与所述耦合框通过多个弹性梁相连接;所述质量块与所述固定块之间设置有第一梳状耦合结构;所述耦合框的一侧设置有支撑梁;所述耦合框通过所述支撑梁与所述基座相连接;所述耦合框的侧壁的上部及下部分别设置有谐振梁,所述谐振梁一端与所述耦合框相连接,另一端分别与基座相连接;所述谐振梁与所述基座之间还设置有第二梳状耦合结构;所述谐振梁以及所述第二梳状耦合结构用于检测转动角速度。
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