[发明专利]一种微机械陀螺仪及电子产品在审
申请号: | 202310344613.6 | 申请日: | 2023-03-31 |
公开(公告)号: | CN116358509A | 公开(公告)日: | 2023-06-30 |
发明(设计)人: | 杨珊;马昭;占瞻;严世涛;阚枭;李杨;彭宏韬;陈秋玉;黎家健;潘在祥 | 申请(专利权)人: | 瑞声开泰科技(武汉)有限公司 |
主分类号: | G01C19/56 | 分类号: | G01C19/56 |
代理公司: | 北京汇思诚业知识产权代理有限公司 11444 | 代理人: | 姚宝然 |
地址: | 430200 湖北省武汉市*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | 本发明提供一种微机械陀螺仪及电子产品,该微机械陀螺仪包括第一传感组件、第二传感组件、驱动件、第一耦合梁和第二耦合梁。驱动件位于第一传感组件和第二传感组件的沿第一方向相对设置的两侧。第一传感组件通过第一耦合梁与驱动件连接。第二传感组件通过第二耦合梁与驱动件连接。第一耦合梁沿第二方向的刚度大于第一耦合梁沿第三方向的刚度,第三方向垂直于第一平面。第二耦合梁沿第二方向的刚度大于第二耦合梁沿第一方向的刚度。本申请的微机械陀螺仪及电子产品的工作精度较高。 | ||
搜索关键词: | 一种 微机 陀螺仪 电子产品 | ||
【主权项】:
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