[发明专利]抛光装置和抛光方法有效
| 申请号： | 200810128588.3 | 申请日： | 2008-06-27 |
| 公开（公告）号： | CN101332580A | 公开（公告）日： | 2008-12-31 |
| 发明（设计）人： | 高桥圭瑞;関正也;草宏明;伊藤贤也 | 申请（专利权）人： | 株式会社荏原制作所 |
| 主分类号： | B24B21/12 | 分类号： | B24B21/12;H01L21/304 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 王永建 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 根据本发明的抛光装置适用于对诸如半导体晶片的衬底的周边进行抛光。该抛光装置包括保持工件的保持部分、使抛光带与工件接触的抛光头、向所述抛光头供给抛光带的供给卷轴、使已经接触过工件的抛光带重绕的重绕卷轴、以及使所述抛光头进行摇摆运动的摆动机构，其中所述摇摆运动的枢转点位于预定点上。 | ||
| 搜索关键词： | 抛光 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种通过在抛光带和工件之间提供相对运动对工件进行抛光的抛光装置，所述装置包括：保持工件的保持部分；使抛光带与工件接触的抛光头；向所述抛光头供给抛光带的供给卷轴；使已经接触过工件的抛光带重绕的重绕卷轴；以及使所述抛光头进行摇摆运动的摆动机构。
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- 2018-10-17 - 2022-04-05 - B24B21/12
- 本发明的课题是提供对于防止磨削作业中的着火事故、尤其是防止与通板异常(板裂、断尾)相伴的着火事故而言有用的、金属带的连续磨削方法以及金属带的连续磨削生产线。本发明的金属带的连续磨削方法，由放线盘放出金属带，利用入口侧偏导辊变向，利用磨削架列进行整面磨削，利用出口侧偏导辊变向，利用张力卷取机进行卷取回收，其中，将对上述金属带的有无进行检测的板有无传感器、对上述放线盘的转速进行检测的转速表、对上述放线盘或上述张力卷取机的驱动电流进行检测的电流计以及对上述金属带的张力进行检测的张力计中的至少任意一者作为工作传感器，根据该工作传感器的传感器输出信号S1(或S2)对金属带的通板异常的发生进行检测。
- 一种板面自动打磨拉丝装置-202023222941.X
- 黄庆其 - 太仓明城医疗器械有限公司
- 2020-12-28 - 2022-03-29 - B24B21/12
- 本实用新型公开了一种板面自动打磨拉丝装置，其包括底架、底部传输组件、安装台、打磨组件、清扫组件和拉丝组件，底部传输组件包括传输辊和传输带，两传输辊设置于底架的两端；两安装台对称设置于底架的两侧，两安装台的顶部均设置有多个导轨；多个打磨组件均包括第一滑动座、第二滑动座、打磨辊、第一电机、轴承和伸缩气缸，第一滑动座和第二滑动座均通过导轨相对设置于两安装台上，打磨辊通过轴承与第一滑动座和第二滑动座转动连接，第一电机设置于第一滑动座的一侧并与打磨辊的一端连接；伸缩气缸设置于第二滑动座的一侧并与第二滑动座连接；拉丝组件设置于安装台上并位于打磨组件的一侧；多个清扫组件间隔设置于多个打磨组件与拉丝组件之间。
- 一种基于胶合板加工的砂光装置-202121779412.1
- 谢毓雯;张明良;张宏龙 - 福建省佰嘉木业有限公司
- 2021-08-02 - 2021-12-31 - B24B21/12
- 本实用新型公开了一种基于胶合板加工的砂光装置，包括本体以及用于本体对不同厚度工件进行限位的挤压部件，所述挤压部件包括分别设于本体一侧的支撑架、开设于支撑架顶部的滑动孔、设于滑动孔内侧的抽拉杆、设于抽拉杆底部的滑动架、设于滑动架内侧的转动轮以及设于滑动架一侧且套设于抽拉杆外侧的弹簧，本实用新型通过设置本体、支撑架、弹簧以及从动轮，弹簧能够对滑动架向下挤压，使滑动架带动转动轮对不同厚度的工件进行限位固定，解决了现有设备不能够对不同厚度的胶合板进行限位固定，部分现有设备不便于工件进行移动，容易导致设备对工件的某一部分过度进行砂光打磨，影响工件的成品率，降低设备的实用性的问题。
- 一种易于安装的砂光机构-202121506305.1
- 郭庆 - 青岛丰嘉伟业木工机械有限公司
- 2021-07-03 - 2021-12-17 - B24B21/12
- 本实用新型公开了一种易于安装的砂光机构，涉及砂光机技术领域，包括砂光架，砂光架上部转动设置有张紧辊，砂光架下部设置有砂光辊，砂光辊和张紧辊之间传动连接有砂光带，砂光架一侧设置有安装座，安装座上滑移设置有滑座，安装座上设置有驱动滑座滑移的调整机构，砂光辊两端分别与滑座和砂光架转动配合。本实用新型提供了使用可靠且通过滑移设置的滑座调整砂光辊的水平度以保证砂光质量的一种易于安装的砂光机构。
- 宽式砂带打磨机-202121397209.8
- 孙雪军 - 江苏德博瑞研磨科技有限公司
- 2021-06-22 - 2021-12-07 - B24B21/12
- 本实用新型属于打磨抛光技术领域，尤其涉及宽式砂带打磨机，包括基架、传送机构和砂带打磨机构，所述传送机构和所述砂带打磨机构安装在所述基架上。本实用新型提供的宽式砂带打磨，吸附装置通过工作台的吸附孔和输送带上的通风孔将待打磨的金属板牢牢吸附在传送机构上，从而保证金属板材在打磨过程不会发生偏移，确保了打磨效率。此外，通过收料斗，将打磨砂带上的打磨碎屑进行收集，如此保证了良好的打磨效果，提供了生产效率。
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