[发明专利]离子源装卸装置有效
| 申请号： | 200910049285.7 | 申请日： | 2009-04-14 |
| 公开（公告）号： | CN101866802A | 公开（公告）日： | 2010-10-20 |
| 发明（设计）人： | 许鹖 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/08 | 分类号： | H01J37/08;H01J27/02;H01J27/08;H01J37/317;H01L21/265 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 20120*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种离子源装卸装置，用于在电弧反应室装卸离子源，包括：半圆柱形承托架，与离子源形状匹配，以承托所述离子源；卡套，设置在所述半圆柱形承托架一端，与所述电弧反应室的钢套形状匹配，用于卡合在所述钢套上，其中所述卡套具有一开口，与所述离子源形状匹配，以供所述离子源进出；以及把手，设置在所述卡套上部。利用该离子源装卸装置，可以在装卸离子源时，实现准确定位，使离子源精确的插入钢套中。在频繁的对离子注入机周期保养中，可以保证离子源的质量，同时会提高安装效率。确保维护的成功率，避免重复劳动。 | ||
| 搜索关键词： | 离子源 装卸 装置 | ||
【主权项】：
一种离子源装卸装置，用于在电弧反应室装卸离子源，其特征在于，包括：半圆柱形承托架，与离子源形状匹配，以承托所述离子源；卡套，设置在所述半圆柱形承托架一端，与所述电弧反应室的钢套形状匹配，用于卡合在所述钢套上，其中所述卡套具有一开口，与所述离子源形状匹配，以供所述离子源进出；以及把手，设置在所述卡套上部。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中芯国际集成电路制造(上海)有限公司，未经中芯国际集成电路制造(上海)有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200910049285.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：半导体工艺的监控方法
- 下一篇：一种镍网阴极的制备方法
