[发明专利]带电粒子能量分析器无效
| 申请号： | 201080033732.0 | 申请日： | 2010-07-16 |
| 公开（公告）号： | CN102484027A | 公开（公告）日： | 2012-05-30 |
| 发明（设计）人： | 卡沙伊·沙德曼;罗伯特·海恩斯;伽柏·D·托特;克里斯多佛·西尔斯;迈赫兰·纳塞尔古德西 | 申请（专利权）人： | 克拉-坦科股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/28 | 分类号： | H01J37/28;H01J37/244 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 钱孟清 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一个实施例涉及带电粒子能量分析器装置。第一网被安排成接收第一侧上的带电粒子并将带电粒子传递到第二侧，并且第一电极被安排成在第一网的第二侧和第一电极之间形成第一腔。第二网被安排成接收第二侧上的带电粒子并将带电粒子传递到第一侧，并且第二电极被安排成在第二网的第一侧和第二电极之间形成第二腔。最后，第三网被安排成接收第一侧上的带电粒子并将带电粒子传递到第二侧，并且位置敏感带电粒子检测器被安排成在带电粒子穿过第三网之后接收带电粒子。 | ||
| 搜索关键词： | 带电 粒子 能量 分析器 | ||
【主权项】：
一种带电粒子能量分析器，包括：具有用于传递带电粒子的开口的第一导电网，所述第一网被安排成接收第一侧上的带电粒子并将所述带电粒子传递到第二侧；第一电极，被安排成在所述第一网的第二侧和所述第一电极之间形成第一腔；具有用于传递所述带电粒子的开口的第二导电网，所述第二网被安排成接收第二侧上的带电粒子并将所述带电粒子传递到第一侧；第二电极，被安排成在所述第二网的第一侧和所述第二电极之间形成第二腔；具有用于传递所述带电粒子的开口的第三导电网，所述第三网被安排成接收第一侧上的带电粒子并将所述带电粒子传递到第二侧；以及被安排成在所述带电粒子穿过所述第三网之后接收所述带电粒子的位置敏感带电粒子检测器。
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