[发明专利]一种高价离子源的调制装置无效

专利信息
申请号: 201110427252.9 申请日: 2011-12-19
公开(公告)号: CN103165391A 公开(公告)日: 2013-06-19
发明(设计)人: 李海洋;赵无垛;曲丕丞;王卫国;花磊 申请(专利权)人: 中国科学院大连化学物理研究所
主分类号: H01J49/14 分类号: H01J49/14;H01J49/10
代理公司: 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 代理人: 马驰
地址: 116023 *** 国省代码: 辽宁;21
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摘要: 发明公开了一种高价离子源的调制装置,包括高价离子源、聚焦透镜、调速电极组、高价离子引出电极组、样品靶。高价离子通过激光与团簇相互作用产生,利用聚焦透镜将高价离子会聚于样品靶上,同时利用调速电极对高价离子的能量进行调节。
搜索关键词: 一种 高价 离子源 调制 装置
【主权项】:
一种高价离子源的调制装置,其特征在于:包括依次排列的高价离子引出电极组(2)、聚焦透镜(3)、调速电极组(4)和样品靶(5);高价离子引出电极组(2)为二板平行、相互间隔设置的金属板状电极,一为推斥电极(6)、另一为加速电极(7),于一加速电极(7)中部设有贯穿电极板体的孔,离子聚焦透镜(3)由2‑5个同轴、相互间隔设置的金属圆筒状电极构成;调速电极组(4)为2‑5个同轴、相互间隔设置的金属圆筒状电极,或为2‑5块平行、相互间隔设置的金属板状电极,电极中部设有贯穿电极板体的孔;一为屏蔽电极(8)、其余为调速电极(9)构成;加速电极(7)的孔、离子聚焦透镜(3)、调速电极组(4)的孔同轴设置,加速电极(7)和屏蔽电极(8)靠近离子聚焦透镜(3)设置;于远离离子聚焦透镜(3)的调速电极(9)外侧设置有样品靶(5),样品靶(5)设置于调速电极(9)的孔的轴线上。
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