[发明专利]2-2型压电陶瓷/单晶铁电复合材料的制备方法和制备冶具有效

专利信息
申请号: 201410712388.8 申请日: 2014-11-28
公开(公告)号: CN105702852B 公开(公告)日: 2018-11-20
发明(设计)人: 李永川;郭瑞彪;钱明;薛术;郑海荣;陈然然;苏敏;刘广 申请(专利权)人: 中国科学院深圳先进技术研究院
主分类号: H01L41/39 分类号: H01L41/39;H01L41/37
代理公司: 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 代理人: 吴平
地址: 518055 广东省深圳*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 2‑2型压电陶瓷/单晶铁电复合材料的制备方法和制备冶具通过将压电陶瓷/单晶铁电材料进行精磨,使其达到预设厚度。然后沿压电陶瓷/单晶铁电材料的长度方向切割形成深度固定的沟槽。最后沿沟槽朝向将多个压电陶瓷/单晶铁电材料子块堆叠,再在堆叠后的沟槽内填充聚合物。因此,在沟槽深度固定时,聚合物的厚度就能固定为沟槽深度,从而能够避免聚合物厚度超过阈值而影响压电陶瓷/单晶铁电材料的总宽度。且上述方法中采用先切割后堆叠填充,使得压电陶瓷/单晶铁电材料的总宽度固定为预设的压电陶瓷/单晶铁电材料厚度,使其符合用户要求。
搜索关键词: 压电 陶瓷 单晶铁电 复合材料 制备 方法
【主权项】:
1.一种2‑2型压电陶瓷/单晶铁电复合材料的制备方法,包括以下步骤:精磨压电陶瓷/单晶铁电材料,使其上下表面达到预设厚度(K+W)mm,其中,K为压电陶瓷/单晶铁电材料阵元与阵元之间的切缝宽度,W为压电陶瓷/单晶铁电材料阵元的宽度;沿所述压电陶瓷/单晶铁电材料的长度方向切割,使所述压电陶瓷/单晶铁电材料在厚度方向上形成深度为Kmm的沟槽;沿所述压电陶瓷/单晶铁电材料的宽度方向切割,使其分为若干压电陶瓷/单晶铁电材料子块;将若干压电陶瓷/单晶铁电材料子块堆叠,且压电陶瓷/单晶铁电材料子块的沟槽方向一致;向堆叠的压电陶瓷/单晶铁电材料子块的沟槽中添加聚合物并使其固化形成压电陶瓷/单晶铁电复合材料。
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