[发明专利]在透射电子显微镜设备中产生电子束的方法有效
| 申请号： | 201680073074.5 | 申请日： | 2016-10-20 |
| 公开（公告）号： | CN108369885B | 公开（公告）日： | 2020-06-23 |
| 发明（设计）人： | O·J·卢伊坦 | 申请（专利权）人： | 埃因霍温科技大学 |
| 主分类号： | H01J37/06 | 分类号： | H01J37/06;H01J37/26;H01J37/065 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 汪骏飞;侯颖媖 |
| 地址： | 荷兰埃*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一方面，本发明提供了一种在透射电子显微镜设备中产生电子束的方法。该方法包括：通过脉冲电子源[300]产生电子脉冲[306]，在第一谐振微波空腔[302]中加速所述电子脉冲，使加速的电子脉冲穿过漂移空间[314]，以及通过操作第二谐振微波空腔与所述第一谐振空腔[302]异相90度来在所述第二谐振微波空腔[304]中校正加速的电子脉冲的能量扩展。 | ||
| 搜索关键词： | 透射 电子显微镜 设备 产生 电子束 方法 | ||
【主权项】：
1.一种在透射电子显微镜设备中产生电子束的方法，所述方法包括：通过脉冲电子源产生电子脉冲；在第一谐振微波空腔中加速所述电子脉冲；使加速的电子脉冲穿过漂移空间；以及通过操作第二谐振微波空腔与所述第一谐振空腔异相90度来在所述第二谐振微波空腔中校正所述加速的电子脉冲的能量扩展。
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