[发明专利]一种生物蛋白膜表面图案化制作方法有效
| 申请号： | 201911214443.X | 申请日： | 2019-12-02 |
| 公开（公告）号： | CN110941139B | 公开（公告）日： | 2021-04-27 |
| 发明（设计）人： | 陶虎;周志涛 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 郝传鑫;贾允 |
| 地址： | 200050 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种生物蛋白膜表面图案化制作方法，该方法包括以下步骤：S1.制备超材料阵列；S2.制备生物蛋白膜；S3.将所述超材料阵列与所述生物蛋白膜接触，通过电磁波对所述超材料阵列进行辐射；S4.移动所述生物蛋白膜，在所述生物蛋白膜表面进行图案直写；S5.通过显影液对所述生物蛋白膜进行显影。本发明不需要掩膜版，可以直接通过超材料阵列对生物蛋白膜进行加工，操作简便；本发明中经图案直写的生物蛋白膜的分辨率与超材料阵列间隙尺寸有关，可以达到纳米级分辨率，分辨率较高；本发明中的超材料阵列具有多个基元结构，该基元结构可以作为光刻直写头，使得多个光刻直写头可以同步工作，直写效率较高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 生物 蛋白 表面 图案 制作方法 | ||
【主权项】：
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