[发明专利]硅前体化合物、制备方法及使用其来形成含硅膜的方法在审
| 申请号： | 201980078061.0 | 申请日： | 2019-11-15 |
| 公开（公告）号： | CN113166178A | 公开（公告）日： | 2021-07-23 |
| 发明（设计）人： | 金镇植;金明浩;李美熙;金炳官;崔晙焕;安晟祐;李伦炅 | 申请（专利权）人： | UP化学株式会社 |
| 主分类号： | C07F7/10 | 分类号： | C07F7/10;C23C16/40;C23C16/34;C23C16/455;C23C16/448 |
| 代理公司： | 北京市中伦律师事务所 11410 | 代理人： | 钟锦舜 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本申请是硅前体化合物、制备该硅前体化合物的方法、包含该硅前体化合物的用于沉积含硅氧化物薄膜或氮化物薄膜的前体组合物以及使用该前体组合物来沉积含硅氧化物薄膜或氮化物薄膜的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 硅前体 化合物 制备 方法 使用 形成 含硅膜 | ||
【主权项】：
暂无信息
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