[实用新型]一种带有鱼鳞状凸起的化学机械抛光垫有效
| 申请号： | 202020792996.5 | 申请日： | 2020-05-13 |
| 公开（公告）号： | CN212071567U | 公开（公告）日： | 2020-12-04 |
| 发明（设计）人： | 朱文献 | 申请（专利权）人： | 昂士特科技（深圳）有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/26 | 分类号： | B24B37/26 |
| 代理公司： | 深圳市中科创为专利代理有限公司 44384 | 代理人： | 梁炎芳;谭雪婷 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市南山区桃源*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种带有鱼鳞状凸起的化学机械抛光垫，包括抛光垫基体，所述抛光垫基体为圆形，所述抛光垫基体的表面均匀设置有若干排鱼鳞状分布的凸起，每一所述凸起的横截面设置呈圆形，且所述凸起的中心厚边沿薄，每排所述凸起靠近所述抛光垫基体边沿的位置设置有相适配的用于填充鳞片。本实用新型技术方案简单实用，旨在提高抗碎物戳刺破坏能力，提高其使用寿命，节省更换抛光垫成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 带有 鱼鳞 凸起 化学 机械抛光 | ||
【主权项】：
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