[发明专利]使用色彩计量进行的基板的厚度测量

摘要

一种用于获得表示基板上的层的厚度的测量值的系统，包括用于固持基板的支撑件、用于通过光以不同入射角撞击基板来捕获两个彩色图像的光学组件、以及控制器。控制器被配置成存储函数，所述函数根据在至少四个维度的坐标空间中沿预定路径的位置来提供表示厚度的值。针对两个彩色图像中的像素，控制器从色彩数据确定在坐标空间中的坐标，确定在预定路径上最靠近所述坐标的点的位置，以及从函数以及预定路径上的点的位置来计算表示厚度的值。