[发明专利]一种物镜及其结构设计方法、透射电子显微镜在审
| 申请号： | 202211014489.9 | 申请日： | 2022-08-23 |
| 公开（公告）号： | CN115332030A | 公开（公告）日： | 2022-11-11 |
| 发明（设计）人： | 梁晶;邹文兵;白生伟;邵倩倩;董鹤鹏;朱勇波;魏志猛;唐爱权;吕绍林 | 申请（专利权）人： | 苏州博众仪器科技有限公司;博众精工科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/141 | 分类号： | H01J37/141;H01J37/26;G06F30/23 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 严慧 |
| 地址： | 215200 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种物镜及其结构设计方法、透射电子显微镜，物镜的结构设计方法包括：建立物镜几何模型，并对物镜参数信息进行网格划分；向物镜几何模型输入预设物镜参数信息；根据物镜参数信息和预设物镜参数信息确定磁场状态信息；提供物镜的光学信息；根据光学信息和磁场状态信息调节物镜的极靴尺寸状态信息；根据极靴尺寸状态信息再次获取光学信息和磁场状态信息，以得到满足预设条件的物镜结构。通过对物镜结构进行仿真数据分析，调节极靴尺寸状态信息影响物镜中磁感应强度分布，进而保证物镜的使用效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 物镜 及其 结构设计 方法 透射 电子显微镜 | ||
【主权项】：
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- [课题]期望提升荷电粒子线装置的性能。[解决手段]一种荷电粒子线装置具备：荷电粒子源11；加速电源14，设置来加速从该荷电粒子源11射出的荷电粒子线12，并连接于该荷电粒子源11；及物镜透镜26，将该荷电粒子线12聚焦于试料23。物镜透镜26相对于试料23，设置于该荷电粒子线12的入射侧的相反侧；且形成该物镜透镜26的磁极具有：中心磁极26a，其中心轴与该荷电粒子线12的理想光轴一致；上部磁极26b；筒形的侧面磁极26c；及圆盘形状的下部磁极26d；其中，靠近于该中心磁极26a的试料23侧的上部中，该上部附近的径为较小的形状，该中心磁极26a的下部为圆柱形状；该上部磁极26b为中心形成圆形的开口部的磁极，且为于朝向中心的盘状的靠近该中心磁极的中心侧较薄的圆盘形状。
- 一种带电粒子圆磁透镜-201720668890.2
- 王超;白永林;王屹山;尹飞;赵卫;田进寿;曾健华;王向林;徐鹏 - 中国科学院西安光学精密机械研究所
- 2017-06-09 - 2018-01-19 - H01J37/141
- 本实用新型属于带电粒子光学成像技术领域，尤其涉及一种带电粒子圆磁透镜。包括通电线圈及环形铁壳，通电线圈位于环形铁壳中，环形铁壳上具有至少一个环形间隙，环形间隙位于环形铁壳的端面。通过在端面磁路引入环形间隙，解决了一些实验样品由于无法置于磁透镜内部而不能完成样品发射电子的聚焦成像等技术问题，突破了现有圆磁透镜技术瓶颈，实现了使透镜磁场区位于透镜所围空间外部的技术效果，因而具备更广的应用领域。
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