[发明专利]光学设备、激光准直调节方法、系统及介质有效
| 申请号： | 202311007312.0 | 申请日： | 2023-08-11 |
| 公开（公告）号： | CN116719173B | 公开（公告）日： | 2023-10-24 |
| 发明（设计）人： | 张晶晶;朱汝楷 | 申请（专利权）人： | 星元极光（苏州）光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G02B27/30 | 分类号： | G02B27/30 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215513 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明提供了光学设备、激光准直调节方法、系统及介质。该激光准直调节方法包括步骤P1：控制升降样品台升降并获取具有一第一光斑的一第一图像和具有一第二光斑的一第二图像；步骤P2：识别第一光斑的中心的一第一坐标和第二光斑的中心的一第二坐标；步骤P3：当第一差值的绝对值大于或等于第一阈值时，控制光路调整装置以使得第一差值的绝对值小于第一阈值；步骤P4：控制升降样品台升降并获取具有一第三光斑的一第三图像；步骤P5：识别第三光斑的中心的一第三坐标；步骤P6：当第二差值的绝对值大于或等于第二阈值时，控制光路调整装置以使得第二差值的绝对值小于第二阈值。该方法能够快速、准确地实现激光准直调节。 | ||
| 搜索关键词： | 光学 设备 激光 调节 方法 系统 介质 | ||
【主权项】：
暂无信息
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