[发明专利]离子过滤器以及离子过滤器的制造方法有效
申请号: | 201680063736.0 | 申请日: | 2016-12-02 |
公开(公告)号: | CN108352287B | 公开(公告)日: | 2020-04-28 |
发明(设计)人: | 荒井大辅 | 申请(专利权)人: | 株式会社藤仓 |
主分类号: | H01J47/06 | 分类号: | H01J47/06 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 舒艳君;李洋 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 离子 过滤器 以及 制造 方法 | ||
1.一种离子过滤器,是使用于具备气体电子放大器的气体检测器的离子过滤器,具有:
绝缘性基材;
第一导电层图案,形成在上述绝缘性基材的一个主面上;
第二导电层图案,形成在上述绝缘性基材的另一主面上;以及
多个贯通孔,沿着形成有上述第一导电层图案和上述第二导电层图案的上述绝缘性基材的厚度方向而形成,
上述绝缘性基材的一个主面被配置在上述气体检测器中的电子的移动方向的上游侧,上述绝缘性基材的另一主面被配置在上述气体检测器中的电子的移动方向的下游侧,
上述第一导电层图案的线宽度比上述第二导电层图案的线宽度大。
2.根据权利要求1所述的离子过滤器,其中,
形成在上述绝缘性基材的一个主面上的第一导电层图案的线宽度为10μm以上且40μm以下,形成在上述绝缘性基材的另一主面上的第二导电层图案的线宽度为上述第一导电层图案的线宽度的0.4倍以上且0.9倍以下。
3.根据权利要求1或者2所述的离子过滤器,其中,
上述贯通孔的第一导电层图案侧的第一开口部的面积小于上述贯通孔的第二导电层图案侧的第二开口部的面积,形成上述贯通孔的上述第二导电层图案侧的内侧面相对于上述绝缘性基材的主面具有40度以上且80度以下的角度。
4.根据权利要求1或者2所述的离子过滤器,其中,
上述离子过滤器与上述气体电子放大器配合设置,
上述绝缘性基材的另一主面被配置在上述气体电子放大器侧。
5.根据权利要求1或者2所述的离子过滤器,其中,
由上述贯通孔形成的开口部的总面积相对于沿着上述绝缘性基材的主面的规定的单位面积的比例亦即上述贯通孔的开口率为70%以上。
6.根据权利要求1或者2所述的离子过滤器,其中,
对上述第一导电层图案与上述第二导电层图案之间施加5-20V的电位。
7.根据权利要求1或者2所述的离子过滤器,其中,
上述离子过滤器是对上述气体检测器中向上述电子移动的漂移区域反馈的阳离子进行捕集的阳离子门装置。
8.根据权利要求1或者2所述的离子过滤器,其中,
上述气体电子放大器具备绝缘性基材、形成在上述绝缘性基材的两主面上的导电层、以及沿相对于上述绝缘性基材的主面大致垂直的方向延伸的多个贯通孔,并对形成于上述绝缘性基材的两面上的上述导电层之间赋予数百V的电位差以便在上述贯通孔的内部形成高电场。
9.一种离子过滤器的制造方法,具有:
准备基材的工序,上述基材具备绝缘性基材、形成在上述绝缘性基材的一个主面上的第一导电层和形成在上述绝缘性基材的另一主面上的第二导电层;
通过使蚀刻液作用于上述第二导电层的第二规定区域,并将上述第二规定区域除去来形成具有规定的第二线宽度的第二导电层图案的工序;
从上述另一主面的一侧向第二导电层图案的形成区域以及上述第二导电层的端部的外侧区域照射激光的工序;以及
通过使蚀刻液至少从上述另一主面的一侧作用于上述第一导电层,从而将第一规定区域除去来形成具有比上述第二线宽度大的规定的第一线宽度的第一导电层图案,并且将上述端部的外侧区域的上述第一导电层除去的工序。
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