[发明专利]离子过滤器以及离子过滤器的制造方法有效
| 申请号： | 201680063736.0 | 申请日： | 2016-12-02 |
| 公开（公告）号： | CN108352287B | 公开（公告）日： | 2020-04-28 |
| 发明（设计）人： | 荒井大辅 | 申请（专利权）人： | 株式会社藤仓 |
| 主分类号： | H01J47/06 | 分类号： | H01J47/06 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 舒艳君;李洋 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供使用于气体检测器(100)的离子过滤器(1)。具有绝缘性基材(11)、形成在绝缘性基材(11)的一个主面上的第一导电层图案(12)、形成在绝缘性基材(11)的另一主面上的第二导电层图案(13)、以及沿着绝缘性基材(11)的厚度方向所形成的多个贯通孔(30)，绝缘性基材(11)的一个主面被配置在气体检测器(100)中的电子的移动方向的上游侧，绝缘性基材(11)的另一主面被配置在气体检测器中的电子的移动方向的下游侧，第一导电层图案(12)的线宽度(W12)比第二导电层图案(13)的线宽度(W13)大。 | ||
| 搜索关键词： | 离子 过滤器 以及 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种离子过滤器，是使用于具备气体电子放大器的气体检测器的离子过滤器，具有：绝缘性基材；第一导电层图案，形成在上述绝缘性基材的一个主面上；第二导电层图案，形成在上述绝缘性基材的另一主面上；以及多个贯通孔，沿着形成有上述第一导电层图案和上述第二导电层图案的上述绝缘性基材的厚度方向而形成，上述绝缘性基材的一个主面被配置在上述气体检测器中的电子的移动方向的上游侧，上述绝缘性基材的另一主面被配置在上述气体检测器中的电子的移动方向的下游侧，上述第一导电层图案的线宽度比上述第二导电层图案的线宽度大。
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