[发明专利]离子过滤器以及离子过滤器的制造方法有效
申请号: | 201680063736.0 | 申请日: | 2016-12-02 |
公开(公告)号: | CN108352287B | 公开(公告)日: | 2020-04-28 |
发明(设计)人: | 荒井大辅 | 申请(专利权)人: | 株式会社藤仓 |
主分类号: | H01J47/06 | 分类号: | H01J47/06 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 舒艳君;李洋 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 离子 过滤器 以及 制造 方法 | ||
提供使用于气体检测器(100)的离子过滤器(1)。具有绝缘性基材(11)、形成在绝缘性基材(11)的一个主面上的第一导电层图案(12)、形成在绝缘性基材(11)的另一主面上的第二导电层图案(13)、以及沿着绝缘性基材(11)的厚度方向所形成的多个贯通孔(30),绝缘性基材(11)的一个主面被配置在气体检测器(100)中的电子的移动方向的上游侧,绝缘性基材(11)的另一主面被配置在气体检测器中的电子的移动方向的下游侧,第一导电层图案(12)的线宽度(W12)比第二导电层图案(13)的线宽度(W13)大。
技术领域
本发明涉及使用于具备气体电子放大器的气体检测器的离子过滤器以及离子过滤器的制造方法。
背景技术
作为放射线检测器之一而已知气体检测器。关于该气体检测器,已知其气体电子放大部使用气体电子放大器的气体检测器(专利文献1)。
专利文献1:日本特开2007-234485号公报
非专利文献1:Sauli F et al.Ion feedback suppression in time projectionchambers:Nuclear Instruments and Methods in Physics A,2006,560(2):269-277.
非专利文献2:XIE Wen-Qing et al.Electron transmission efficiency ofgating-GEM foil for TPC.Chinese Physics C,2012,Vol.36No.4,p.339-343.
非专利文献3:P.Gros et al.Blocking positive ion backflow using a GEMGATE:experiment and simulations.3rd INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO PATTERNGASEOUS DETECTORS 1-6JULY,2013.Journal of Instrumentation·November2013Impact Factor:1.4.doi:10.1088/1748-0221/8/11/C11023.
这种气体检测器使检测对象的放射线入射,使用具备很多的贯通孔的气体电子放大器,利用电子雪崩效应使因放射线与气体的光电效应而从气体原子飞出的电子放大,对该电信号进行检测。
在使电子放大时,产生与放大的电子数目相同的阳离子。因设置在气体电子放大器中的贯通孔内部的电场的影响,产生的阳离子向与电子的移动方向相反方向行进。
另外,由于质量相对较大的阳离子的移动速度比电子的移动速度慢,所以存在阳离子在气体检测器的内部中以取决于气体电子放大器的形状的形状集中而滞留,生成电场的情况。例如在使用电子放大膜作为气体电子放大器的情况下,阳离子以电子放大膜的形状亦即平板状的形状集中,生成电场。由阳离子所形成的电场使气体检测器测量的电子的移动方向发生变化。
这样,产生由阳离子所形成的电场使使用了气体电子放大器的气体检测器的位置分辨率降低这样的所谓的阳离子问题。
对于该阳离子问题,以往已知通过在气体检测器的上游侧设置线电极,并利用从线电极产生的电场来防止阳离子的行进的手法。然而,产生在高磁场下使用的情况下在线电极的附近产生E×B effect,移动的电子的轨道在线电极的附近扭曲这样的其它问题。另外,在防止阳离子的行进时,若因E×B effect而甚至妨碍了电子的移动,则存在位置分辨率降低这样的问题。
这样,以往寻求一种抑制成为计测对象的电子的透过率降低,并且防止阳离子的行进的手段。
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