[发明专利]一种膜上膜内缺陷的检测方法在审
| 申请号： | 201710675809.8 | 申请日： | 2017-08-09 |
| 公开（公告）号： | CN109387527A | 公开（公告）日： | 2019-02-26 |
| 发明（设计）人： | 郭连俊;杨慎东;颜圣佑 | 申请（专利权）人： | 苏州精濑光电有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/958 | 分类号： | G01N21/958 |
| 代理公司： | 武汉开元知识产权代理有限公司 42104 | 代理人： | 黄行军 |
| 地址： | 215214 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 待测基板 上膜 检测 光学检测技术 缺陷扫描单元 空气折射率 灰阶图像 缺陷部位 最小灰阶 透明的 摄取 影像 扫描 驱动 节约 | ||
1.一种膜上膜内缺陷的检测方法，其特征在于：包括以下步骤：
1)、驱动缺陷扫描单元(2)对沉积透明膜(3)的待测基板扫描，获取待测基板的缺陷部分的扫描影像；
2)、将所述缺陷部分的最大灰阶值与第一标准值进行对比，若两者的差值小于第一设定值，则判定该缺陷部分为位于透明膜(3)上的膜上缺陷；若两者的差值大于第一设定值，则判定该缺陷部分为位于透明膜(3)内部的膜内缺陷；
或者，将所述缺陷部分的最小灰阶值与所述第一标准值进行对比，若两者的差值小于第二设定值，则判定该缺陷部分为位于透明膜(3)上的膜上缺陷；若两者的差值大于第二设定值，则判定该缺陷部分为位于透明膜(3)内部的膜内缺陷。
2.如权利要求1所述的一种膜上膜内缺陷的检测方法，其特征在于：所述第一标准值为所述缺陷部分的平均灰阶值。
3.如权利要求1所述的一种膜上膜内缺陷的检测方法，其特征在于：所述检测方法还包含步骤3)：驱动图像摄取单元(1)根据膜内缺陷的位置，摄取所述膜内缺陷的图像。
4.如权利要求3所述的一种膜上膜内缺陷的检测方法，其特征在于：所述图像摄取单元(1)选择性地摄取所述待测基板上的一定数量的膜内缺陷。
5.如权利要求1所述的一种膜上膜内缺陷的检测方法，其特征在于：所述检测方法还包含步骤3)：驱动图像摄取单元(1)根据膜上缺陷的位置，摄取所述膜上缺陷的图像。
6.如权利要求5所述的一种膜上膜内缺陷的检测方法，其特征在于：所述图像摄取单元(1)选择性地摄取所述待测基板上的一定数量的膜上缺陷。
7.如权利要求1所述的一种膜上膜内缺陷的检测方法，其特征在于：所述的步骤1中，获取测待测基板的缺陷部分包含以下步骤：
S1、获取待测基板上像素的扫描影像；
S2、对所述扫描影像进行数据处理，判定待测基板的缺陷部分。
8.如权利要求7所述的一种膜上膜内缺陷的检测方法，其特征在于：所述的步骤S2中，判定待测基板的缺陷部分的方法为：将待测基板上每个像素的灰阶值与相邻像素的灰阶值比对，若两者的差值小于第三设定值，则判定所述像素无缺陷；若两者的差值大于第三设定值，则判定所述像素有缺陷。
9.如权利要求8所述的一种膜上膜内缺陷的检测方法，其特征在于：所述第三设定值的范围为10至40。
10.如权利要求1所述的一种膜上膜内缺陷的检测方法，其特征在于：所述第一设定值的范围为50至200，所述第二设定值的范围为50至200。
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