[发明专利]一种封装用镀钯铜打线及其制备方法在审
| 申请号： | 202310176796.5 | 申请日： | 2023-02-28 |
| 公开（公告）号： | CN116153894A | 公开（公告）日： | 2023-05-23 |
| 发明（设计）人： | 段金炽;廖光朝 | 申请（专利权）人： | 重庆云潼科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/49 | 分类号： | H01L23/49;H01L21/60;C22F1/08;C21D9/52;C23C18/44 |
| 代理公司： | 四川知研律师事务所 51352 | 代理人： | 李位全 |
| 地址： | 400000 重庆市江*** | 国省代码： | 重庆;50 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 封装 用镀钯铜打线 及其 制备 方法 | ||
1.一种封装用镀钯铜打线，其特征在于，所述镀钯铜打线为镀钯银芯铜线，所述镀钯铜打线的直径小于1mm。
2.根据权利要求1所述的一种封装用镀钯铜打线，其特征在于，所述镀钯铜打线的电阻率为1.55～1.65μΩ/㎝，弹性模量为75～85GPa。
3.一种封装用镀钯铜打线的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括以下步骤：
穿线收卷，将银线穿入铜管内，对穿有银线的铜管进行收卷；
一次拉丝，将收卷好的穿有银线的铜管移动穿过高频加热器，高频加热器的温度设置为700～800℃，拉丝，自然冷却；
一次退火，将一次拉丝后的铜管投入真空加热炉中加热25～35min，炉中温度设定为500～550℃，取出空冷；
二次拉丝，对一次退火后的铜管再次移动穿过高频加热器，高频加热器的温度设置为700～800℃，拉丝，自然冷却，收卷；
二次退火，将二次拉丝收卷好的铜管整体投入真空加热炉中加热25～35min，炉中温度设定为500～550℃，取出空冷；
三次拉丝，将二次退火后的铜管再次移动穿过高频加热器，高频加热器的温度设置为700～800℃，拉丝，自然冷却，收卷；
三次退火，将三次拉丝后的铜管再次放入至真空加热炉中加热25～35min，炉中温度设定为500～550℃，取出空冷；
镀钯，将三次退火后的铜管引入镀钯液中进行化学镀钯制得镀钯银芯铜线，随后将镀钯银芯铜线取出干燥；
四次拉丝，将镀钯银芯铜线再次加热至700～800℃，拉丝，自然冷却，收卷；
四次退火，将拉丝后的镀钯银芯铜线再次放入至真空加热炉中加热25～35min，温度设定为500～550℃，取出空冷。
4.根据权利要求3所述的一种封装用镀钯铜打线的制备方法，其特征在于，所述制备方法中高频加热器和真空加热炉中均无氧气。
5.根据权利要求4所述的一种封装用镀钯铜打线的制备方法，其特征在于，所述制备方法中所有的拉丝操作中均需要不断通入氮气。
6.根据权利要求5所述的一种封装用镀钯铜打线的制备方法，其特征在于，所述制备方法中铜管穿过高频加热器的移动速度为1～2m/min。
7.根据权利要求6所述的一种封装用镀钯铜打线的制备方法，其特征在于，所述镀钯液的组成如下：氨水10ml/100ml、二氯化钯0.2g/100ml、次亚磷酸钠2.5g/100ml、三乙醇胺0.5g/100ml。
8.根据权利要求7所述的一种封装用镀钯铜打线的制备方法，其特征在于，所述镀钯液的pH值为9.0～9.8。
9.根据权利要求8所述的一种封装用镀钯铜打线的制备方法，其特征在于，所述镀钯步骤的镀钯操作温度为40～50℃。
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