[发明专利]MgIn2O4/MgAl2O4复合衬底材料及其制备方法无效
| 申请号： | 200310108067.9 | 申请日： | 2003-10-21 |
| 公开（公告）号： | CN1529366A | 公开（公告）日： | 2004-09-15 |
| 发明（设计）人： | 周圣明;徐军;李抒智;杨卫桥;彭观良;周国清;司继良;杭寅;赵广军;刘世良;邹军;赵志伟 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | H01L33/00 | 分类号： | H01L33/00;H01L21/00 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 | 代理人： | 张泽纯 |
| 地址： | 201800上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种MgIn2O4/MgAl2O4复合衬底材料及其制备方法，该复合衬底材料是在MgAl2O4单晶上设有一层MgIn2O4覆盖层构成。该复合衬底材料的制备方法是：先利用脉冲激光淀积方法在MgAl2O4单晶衬底上形成MgIn2O4覆盖层，然后通过高温退火，在MgAl2O4单晶衬底上得到晶化的MgIn2O4薄膜。本发明的复合衬底材料的制备工艺简单、易操作，此种结构的复合衬底MgIn2O4/MgAl2O4适合于高质量GaN的外延生长。 | ||
| 搜索关键词： | mgin sub mgal 复合 衬底 材料 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1、一种MgIn2O4/MgAl2O4复合衬底材料，其特征是在MgAl2O4单晶上设有一层MgIn2O4，构成MgIn2O4/MgAl2O4复合衬底。
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