[发明专利]具有TiAlN-ZrN涂层的整体硬质合金端铣刀有效
| 申请号： | 201680009261.7 | 申请日： | 2016-02-11 |
| 公开（公告）号： | CN107278177B | 公开（公告）日： | 2019-05-17 |
| 发明（设计）人： | 法伊特·席尔;沃尔夫冈·恩格哈特 | 申请（专利权）人： | 瓦尔特公开股份有限公司 |
| 主分类号： | B23C5/16 | 分类号： | B23C5/16;C23C14/06;C23C14/34;C23C14/35;H01J37/34 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 王潜;郭国清 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及整体硬质合金铣刀，其包含碳化物基底和以PVD工艺至少施加至在铣削操作期间与工件接触的表面区域的多层涂层，其中所述多层涂层包含直接沉积在所述基底表面上的单层或多层功能层和沉积在所述功能层之上的单层或多层覆盖层，其中所述功能层由一个或多个TixAl1‑xN层组成并具有1μm至15μm的总厚度，其中0.3≤x≤0.55，所述覆盖层由一个或多个ZrN层组成并具有50nm至1μm的总厚度，并且所述功能层和所述覆盖层是通过高功率脉冲磁控溅射(HIPIMS)沉积的，其中在所述功能层的沉积期间，在涂覆室中将功率脉冲施加至由待沉积材料构成的每个溅射靶材，所述功率脉冲将一定量的能量转移至所述溅射靶材，所述能量超过所述脉冲中的≤500W/cm2的最大功率密度。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 tialn zrn 涂层 整体 硬质合金 铣刀 | ||
【主权项】：
1.一种整体硬质合金铣刀(SC铣刀)，所述整体硬质合金铣刀具有硬质金属基底和以PVD工艺至少施加至在铣削操作期间与工件接触的表面区域的多层涂层，其中所述多层涂层包含直接沉积在基底表面上的单层或多层功能层和沉积在所述单层或多层功能层之上的单层或多层覆盖层，其中所述功能层由一个或多个TixAl1‑xN层组成且总厚度是1μm至15μm，其中0.3≤x≤0.55，所述覆盖层由一个或多个ZrN层组成且总厚度是50nm至1μm，并且所述功能层和所述覆盖层是通过高功率脉冲磁控溅射(HIPIMS)沉积的，其中在所述功能层的沉积期间，在涂覆室中将功率脉冲施加至由待沉积材料构成的每个溅射靶材，所述功率脉冲将一定量的能量转移至所述溅射靶材，所述能量超过所述脉冲中的≥500W/cm2的最大功率密度。
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