[发明专利]一种双热源垂直型气氛反应炉

摘要

本发明公开了一种双热源垂直型气氛反应炉，主要由控制器、旋转加热基台、炉膛三部分组成，其用途为加热衬底台在所需反应温度下与加热底台可升华材料产生的气氛发生化学反应生成所需薄膜。本发明采用加热衬底台与加热底台上下面对放置，加热底台上材料受热分解产生的气体密度较小从而向上飘动更易于与加热衬底台上的衬底接触反应；并且衬底所在的加热衬底台是可以调速旋转，所反应制备的薄膜可以更加均匀，同时也能调整与加热底台的距离；本发明采用双热源加热，可以分别调整加热底台的材料升华温度T1与加热衬底台的衬底温度T2，使得气氛反应沉积的加热过程相互之间没有影响。

主权项

1.一种双热源垂直型气氛反应炉，其特征在于：包括控制器(1)、旋转加热基台(2)以及炉膛(3)，所述炉膛(3)包括一端开口的炉体(35)、炉盖(36)、压强计(30)、导气管(31)、真空泵、加热底台(32)，所述加热底台(32)设置于炉体(35)内，而压强计(30)用于测量炉体(35)内的压强，所述压强计(30)的测量探头设置于炉体(35)内，且所述压强计(30)与控制器(1)连接，所述炉体(35)通过导气管(31)与真空泵连通；所述旋转加热基台(2)包括步进电机(4)、摇手(5)、旋转传动杆(6)、螺纹杆(7)、连接杆(10)、固定环(8)、支撑管(81)、加热衬底台(14)，所述炉盖(36)安装在炉体(35)的开口端，所述螺纹杆(7)的一端与炉盖(36)转动连接，而所述螺纹杆(7)的另一端与摇手(5)固定连接，所述连接杆(10)一端通过螺纹环与螺纹杆(7)连接，另一端与固定环(8)固定连接，而所述固定环(8)固定安装在支撑管(81)上；所述步进电机(4)固定安装在支撑管(81)的一端上，而支撑管(81)的另一端穿过炉盖(36)与加热衬底台(14)转动连接，且所述支撑管(81)与炉盖(36)转动连接；所述旋转传动杆(6)设置于支撑管(81)内，且所述旋转传动杆(6)一端与步进电机(4)转轴连接，另一端与加热衬底台(14)固定连接；所述加热衬底台(14)与支撑管(81)相背离的一面设置有固定金属弹片(12)；所述加热衬底台(14)与加热底台(32)相对设置。