[发明专利]蒸镀装置及蒸镀方法

摘要

本发明提供一种蒸镀装置及蒸镀方法。所述蒸镀装置包括加热源、坩埚盖、第一坩埚、第二坩埚、移动部以及支架，第一坩埚、第二坩埚及移动部均设于坩埚盖的下方，第一坩埚固定在支架上，且第一坩埚及第二坩埚均包括内侧壁、设于内侧壁外的外侧壁及连接内侧壁与外侧壁远离坩埚盖一端的底面，坩埚盖安装于第一坩埚的外侧壁上，第二坩埚固定于移动部的顶面，第一坩埚的内侧壁在竖直方向的投影位于第二坩埚外侧壁以外，加热源的电热丝在与坩埚盖及第一坩埚所在位置对应的第一区域的密度大于第一区域下方的第二区域的密度。该蒸镀装置能够有效提高蒸镀材料的利用率，并可以有效降低蒸镀装置内的径向温差，提高蒸镀装置内蒸镀材料的受热均匀度。

主权项

1.一种蒸镀装置，其特征在于，包括筒状的加热源(10)、容置在加热源(10)内的坩埚盖(20)、第一坩埚(30)、第二坩埚(40)及移动部(50)以及支架(80)；所述第一坩埚(30)、第二坩埚(40)及移动部(50)均设于坩埚盖(20)的下方；所述第一坩埚(30)固定在所述支架(80)上；所述第一坩埚(30)及第二坩埚(40)均包括内侧壁、设于内侧壁外的外侧壁及连接内侧壁与外侧壁远离坩埚盖(20)一端的底面；所述坩埚盖(20)安装于第一坩埚(30)的外侧壁上，所述坩埚盖(20)中心设有开孔(21)，所述第一坩埚(30)的内侧壁靠近坩埚盖(20)的一端与坩埚盖(20)之间在竖直方向存在间隔；所述第一坩埚(30)的外侧壁的高度大于或等于其内侧壁的高度；所述第二坩埚(40)固定于移动部(50)的顶面；所述第一坩埚(30)的内侧壁在竖直方向的投影位于所述第二坩埚(40)外侧壁以外；所述加热源(10)包括筒状的壳体(11)及套设于壳体(11)上的电热丝(12)，所述壳体(11)具有与坩埚盖(20)及第一坩埚(30)所在位置对应的第一区域(111)以及位于第一区域(111)下方的第二区域(112)；电热丝(12)在第一区域(111)的密度大于电热丝(12)在第二区域(112)的密度；还包括容置在加热源(10)内的第三坩埚(60)；所述第三坩埚(60)设于坩埚盖(20)的下方；所述第三坩埚(60)包括内侧壁、设于内侧壁外的外侧壁及连接内侧壁与外侧壁远离坩埚盖(20)一端的底面；所述第一坩埚(30)的内侧壁在竖直方向的投影位于所述第三坩埚(60)外侧壁以外；所述第三坩埚(60)的内侧壁在竖直方向的投影位于所述第二坩埚(40)外侧壁以外；所述第一坩埚(30)的内侧壁的内表面底部设有第一限位部(31)，所述第三坩埚(60)外侧壁的外表面顶部设有第二限位部(61)，所述第一限位部(31)在竖直方向的投影与所述第二限位部(61)在竖直方向的投影至少部分重叠，所述第一限位部(31)位于第二限位部(61)下方；所述第三坩埚(60)的内侧壁的内表面底部设有弹性限位单元(62)，所述弹性限位单元(62)在竖直方向上的投影与所述第二坩埚(40)的外侧壁在竖直方向上的投影至少部分重叠；当所述第三坩埚(60)靠近坩埚盖(20)的一端与坩埚盖(20)之间存在间隔且第二坩埚(40)外侧壁位于弹性限位单元(62)下方时，向上移动移动部(50)，第二坩埚(40)的外侧壁对第三坩埚(60)的弹性限位单元(62)进行推动使第三坩埚(60)上升；当所述第三坩埚(60)靠近坩埚盖(20)的一端与坩埚盖(20)接触且第二坩埚(40)外侧壁位于弹性限位单元(62)下方时，向上移动移动部(50)，第二坩埚(40)的外侧壁压缩弹性限位单元(62)而移动至第三坩埚(60)的内侧壁内。