[实用新型]一种新型纳米硅粉等离子体制备装置

摘要

本实用新型公开了一种新型纳米硅粉等离子体制备装置，包括冷却箱体、电动推拉杆、超声波发生器、超声波发射端、出水管、出气管、等离子发生器、进气管、回气管、收集抽屉、收集盒、收集盒、进水管、固气分离箱、过滤网、螺旋冷却管。以高纯度的硅烷为原料，保证了产品的高纯度。从原料到产品，中间只涉及电离、成核和气固分离等过程，原料无需进行除杂和前处理，同时反应过程中不需要加入催化剂和其他原料，方法简单，适用于工业化生产，对环境无污染，同时通过固气分离箱和螺旋冷却管的多次分离和收集保证了对硅粉的收集率，过滤后的气体再次回到循环系统，提高了原材料的利用率。

主权项

1.一种新型纳米硅粉等离子体制备装置，其特征在于，包括冷却箱体（1），所述冷却箱体（1）顶部固定安装电动推拉杆（2）、超声波发生器（3），所述电动推拉杆（2）位于所述冷却箱体（1）的轴线位置，且其下部固定连接连杆（16）可随所述电动推拉杆（2）沿轴向作推拉运动，所述连杆（16）与所述冷却箱体（1）的连接处作密封处理且位于所述冷却箱体（1）的内部，所述冷却箱体（1）侧面上部开孔并安装有出水管（5），所述冷却箱体（1）侧面下部开孔并安装有出气管（6）、进水管（12），所述出气管（6）另一端连通等离子发生器（7），所述等离子发生器（7）还连接有进气管（8），所冷却箱体（1）下部开设腔体并安装有收集抽屉（10），所述冷却箱体（1）内腔中套装有固气分离箱（13），所述固气分离箱（13）为下大上小的锥形，且其内壁等距设置有多层过滤网（14），所述过滤网（14）为漏斗形且其中心开有孔，所述出气管（6）延伸至所述固气分离箱（13）内腔并连通，所述固气分离箱（13）底部中心开孔且顶部固定连接有超声波反射端（4），在所述冷却箱体（1）和所述固气分离箱（13）之间安装有螺旋冷却管（15），所述螺旋冷却管（15）一端连接在所述固气分离箱（13）顶部并与其内腔连通，另一端延伸到所述冷却箱体（1）的下端外部且其端口处安装有收集盒（11），所述进气管（8）的下部的端口和所述螺旋冷却管（15）之间通过回气管（9）连通，所述连杆（16）上与所述过滤网（14）中心孔对应位置固定连接有封口挡板（17），所述连杆（16）下端与所述固气分离箱（13）底部中心孔对应位置固定连接有落料口密封块（18）。