[发明专利]一种多孔硅纳米材料及其制备方法和用途有效
| 申请号： | 201610587321.5 | 申请日： | 2016-07-22 |
| 公开（公告）号： | CN107539990B | 公开（公告）日： | 2019-08-02 |
| 发明（设计）人： | 杜红宾;孙林 | 申请（专利权）人： | 南京大学 |
| 主分类号： | C01B33/027 | 分类号： | C01B33/027;H01M4/38;H01M10/0525 |
| 代理公司： | 南京艾普利德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32297 | 代理人： | 周海斌 |
| 地址： | 210023 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种多孔硅纳米材料的制备方法，将氯硅烷在活化剂作用下，室温至200℃下在无水有机溶剂中与硅化镁反应后，制备得到具有介孔和大比表面积的多孔硅纳米材料。本发明与传统的合成方法相比，操作简单、反应条件温和、产量高，易于放大合成，成本低廉。通过本发明方法得到的多孔硅纳米材料经过包碳处理后作为锂离子电池的负极材料具有很高的能量密度和非常优异的循环性能。 | ||
| 搜索关键词： | 纳米材料 多孔硅 制备 合成 无水有机溶剂 锂离子电池 反应条件 负极材料 循环性能 传统的 硅化镁 活化剂 氯硅烷 碳处理 介孔 放大 | ||
【主权项】：
1.一种多孔硅纳米材料的制备方法，其特征在于将氯硅烷在活化剂作用下，室温至200℃下在无水有机溶剂中与硅化镁反应后，反应产物经过水或酸溶液洗涤，干燥得到无定形的多孔硅纳米材料，所述活化剂为氨、有机胺类、吡咯类、吡啶类、咪唑类物质中的一种或几种。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于南京大学，未经南京大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201610587321.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 多晶硅还原炉供料系统-201910760915.5
- 陈辉;万烨;孙强;张晓伟;张邦洁;王浩;聂冬冬 - 洛阳中硅高科技有限公司;中国恩菲工程技术有限公司
- 2019-08-16 - 2019-11-12 - C01B33/027
- 本发明公开了一种多晶硅还原炉供料系统，包括雾化装置和管道式挥发器，雾化装置限定有雾化腔且设有与雾化腔连通的三氯氢硅液体进口、氢气进口和雾出口，雾化装置用于将进入雾化腔的三氯氢硅液体和氢气进行均匀雾化，产生雾气并经过雾出口排出；管道式挥发器包括内管和加热组件，内管一端与雾化装置的雾出口连通，另一端与还原炉连通；加热组件位于内管的外周并沿内管长度方向延伸；加热组件用于对从雾出口进入内管的雾气加热汽化形成混合气，以向还原炉供入混合气。本发明的多晶硅还原炉供料系统稳定性高，配比精度高，配比调节灵活，多晶硅产品质量高。
- 一种新型纳米硅粉等离子体制备装置-201822232292.8
- 罗章;杜俊俊;李辉 - 洛阳彤润信息科技有限公司
- 2018-12-28 - 2019-10-29 - C01B33/027
- 本实用新型公开了一种新型纳米硅粉等离子体制备装置，包括冷却箱体、电动推拉杆、超声波发生器、超声波发射端、出水管、出气管、等离子发生器、进气管、回气管、收集抽屉、收集盒、收集盒、进水管、固气分离箱、过滤网、螺旋冷却管。以高纯度的硅烷为原料，保证了产品的高纯度。从原料到产品，中间只涉及电离、成核和气固分离等过程，原料无需进行除杂和前处理，同时反应过程中不需要加入催化剂和其他原料，方法简单，适用于工业化生产，对环境无污染，同时通过固气分离箱和螺旋冷却管的多次分离和收集保证了对硅粉的收集率，过滤后的气体再次回到循环系统，提高了原材料的利用率。
- 一种多晶硅还原炉电极-201920257247.X
- 罗文富 - 厦门佰事兴新材料科技有限公司
- 2019-02-28 - 2019-10-29 - C01B33/027
- 本实用新型涉及一种多晶硅还原炉电极，包括能与石墨座锥孔配合的锥头及与锥头固定连接的电极体，将锥头一端称为上端，另一端称为下端，其特征在于，还包括陶瓷套筒，所述陶瓷套筒同轴套设在所述电极体上并且其上端与所述锥头密封连接，所述电极体中心设置有上端封闭的空腔并且在靠近上端处的侧壁上周向布置有若干通孔，冷却水从所述空腔的下端进入经由所述通孔从所述电极体与所述陶瓷套筒之间的间隙流出。由于冷却水可以从内壁和外壁对电极体进行冷却，因此提高了冷却效率，延长了电极的使用寿命；由于采用陶瓷套筒，使得电极体与炉体良好绝缘，因此杜绝了触电危险。
- 制备多晶硅颗粒的流化床反应器和方法-201580058264.5
- G·福斯特波音特纳尔;D·韦克塞尔 - 瓦克化学股份公司
- 2015-10-21 - 2019-10-25 - C01B33/027
- 本发明涉及一种制备多晶硅颗粒的流化床反应器，其包括反应器盖(10)、反应器管(3)和反应器底(9)，所述反应器还包括加热装置、用于供应流化气体(2)的至少一个底部气体喷嘴，以及用于供应反应气体(1)的至少一个第二气体喷嘴，用于进料硅晶种颗粒的晶种进料器(4)，用于多晶硅颗粒的产品退出管线(5)，以及尾气除去器(6)，其中通过紧靠所述反应器底(9)的密封件/填料(8)密封底部气体喷嘴、至少一个第二气体喷嘴以及用于多晶硅颗粒的产品退出管线(5)，并通过密封件(7)密封紧靠反应器盖(10)和反应器底(9)的反应器管(3)，其中所述密封件/填料(7，8)由石墨构成且含有小于500ppmw的磷。
- 一种硅烷法生产电子级多晶硅用水冷电缆与铜排连接装置-201821850976.8
- 李红彬;沈长丽;许鹏 - 河南硅烷科技发展股份有限公司
- 2018-11-12 - 2019-09-10 - C01B33/027
- 本实用新型公开了一种硅烷法生产电子级多晶硅用水冷电缆与铜排连接装置，包括水冷电缆、冷却水水管、铜排以及连接于水冷电缆内壁和冷却水水管外壁之间的导电铜棒，导电铜棒与冷却水水管之间设有第一连接装置，导电铜棒与水冷电缆之间设有与第一连接装置结构相同的第二连接装置，第一连接装置包括安装座，安装座内套设有夹紧套，安装座与夹紧套之间设有锥形套，夹紧套壁上设有钢珠，安装座和夹紧套阶梯之间设有复位弹簧，夹紧套左端设有拉手；总的，本实用新型具有使用方便的优点。
- 一种硅烷法生产电子级多晶硅热分解炉石墨底座安装工具-201821850987.6
- 蔡前进;许鹏;杨鹏举 - 河南硅烷科技发展股份有限公司
- 2018-11-12 - 2019-09-10 - C01B33/027
- 本实用新型涉及一种硅烷法生产电子级多晶硅热分解炉石墨底座安装工具，包括限位装置和连接装置，限位装置有两个，分别位于连接装置的两侧，通过连接装置相互转动连接，限位装置包括拉环和夹块，拉环下端设置有固定杆和连杆，固定杆设置于拉环的一端，连杆上端与拉环上弧形面的中间位置固定连接，下端与夹块固定连接，夹块包括连接块和弧形限位块，弧形限位块外端通过连接块与连杆的下端固定连接，内端设置有防滑橡胶垫，弧形限位块的上表面设置有卡块；连接装置包括套管和转杆，转杆和套管分别与两个限位装置上的固定杆固定连接，套管的中间位置通孔，转杆两端通过固定件与固定杆固定连接；本实用新型具有结构合理、使用及安装方便的优点。
- 硅烷法生产电子级多晶硅热分解炉钟罩纳米硅粉清除装置-201821851139.7
- 李红彬;王爱琴;张旭 - 河南硅烷科技发展股份有限公司
- 2018-11-12 - 2019-09-10 - C01B33/027
- 本实用新型公开了硅烷法生产电子级多晶硅热分解炉钟罩纳米硅粉清除装置，包括钟罩、支撑架体，钟罩为多晶硅热分解炉的钟罩，钟罩的下部设置有支撑架体，支撑架体包括架体和支撑环，架体的上部固定设置有支撑环，支撑环的外部设置有定位柱，架体的下部通过螺栓固定设置有旋转装置，旋转装置包括电机、旋转轴、旋转支架和防尘盒，支撑环的下底面固定设置有锥形盒，锥形盒的下部设置有收集盒，收集盒的底部设置有气管接头，气管接头与外部气源装置相连接，使得钟罩内呈负压；使用时，通过启动电机，使旋转支架清扫钟罩上吸附的纳米硅粉，并使用收集盒将纳米硅粉进行收集；本实用新型具有使用简单、收集安全方便的优点。
- 一种多孔硅纳米材料及其制备方法和用途-201610587321.5
- 杜红宾;孙林 - 南京大学
- 2016-07-22 - 2019-08-02 - C01B33/027
- 本发明公开了一种多孔硅纳米材料的制备方法，将氯硅烷在活化剂作用下，室温至200℃下在无水有机溶剂中与硅化镁反应后，制备得到具有介孔和大比表面积的多孔硅纳米材料。本发明与传统的合成方法相比，操作简单、反应条件温和、产量高，易于放大合成，成本低廉。通过本发明方法得到的多孔硅纳米材料经过包碳处理后作为锂离子电池的负极材料具有很高的能量密度和非常优异的循环性能。
- 多晶硅还原炉-201821832417.4
- 彭建涛;茅陆荣;许晟 - 上海森松新能源设备有限公司
- 2018-11-06 - 2019-07-09 - C01B33/027
- 本实用新型公开了一种多晶硅还原炉，包括底部具有进气口的还原炉本体，还包括导气件，导气件设置在还原炉本体内部，导气件包括中心进气管和出气管，中心进气管穿过还原炉本体连接进气管道，出气管与中心进气管连通，且出气管距离还原炉本体的上封头的距离小于或等于出气管距离还原炉本体底部的距离。上述的多晶硅还原炉实现了还原炉上部和下部同时进气，能够保证还原炉内部气体分布均匀，有助于提高多晶硅还原炉的生产质量。
- 用于流化床反应器中的分段碳化硅衬的无污染粘合材料-201410460891.9
- 塞法·耶尔马兹;马修·J·米勒;迈克尔·V·斯潘格勒;巴里·文普;施泰因·朱尔斯鲁德 - 陕西有色天宏瑞科硅材料有限责任公司
- 2014-09-11 - 2019-07-05 - C01B33/027
- 本发明涉及用于流化床反应器中的分段碳化硅衬的无污染粘合材料。本发明还公开了分段碳化硅衬，特别是在用于生产多晶硅覆层的颗粒材料的流化床反应器中使用的分段碳化硅衬，以及制造和使用所述分段碳化硅衬的方法。还公开了用于联结碳化硅区段的无污染粘合材料。一个或多个所述碳化硅区段可以由反应粘合的碳化硅构造而成。
- 用于流化床反应器的阻挡元件-201410460636.4
- 迈克尔·V·斯潘格勒;马修·J·米勒 - 陕西有色天宏瑞科硅材料有限责任公司
- 2014-09-11 - 2019-05-17 - C01B33/027
- 本发明公开了用于流化床反应器的阻挡元件，特别地，公开了一种阻挡元件及其在流化床反应器中的使用方法的实施方式。所述阻挡元件包含多个接纳元件和多个连接所述接纳元件的连接元件，每个接纳元件包含定义了通路的管状壁，所述通路的大小适于接纳内部反应器部件，其中所述阻挡元件占据所述流化床反应器的反应仓室的水平截面的15‑60％。
- 分段碳化硅衬-201410461386.6
- E·韦恩·奥斯本;马修·J·米勒;迈克尔·V·斯潘格勒;格拉尔德·A·泽宁戈尔;威廉姆·J·昂斯托特;沃尔特·J·施图平 - 陕西有色天宏瑞科硅材料有限责任公司
- 2014-09-11 - 2019-05-03 - C01B33/027
- 本发明公开了分段碳化硅衬，特别是在用于生产多晶硅覆层的颗粒材料的流化床反应器中使用的分段碳化硅衬，以及制造和使用所述分段碳化硅衬的方法。还公开了用于联结碳化硅区段的无污染粘合材料。一个或多个所述碳化硅区段可以由反应粘合的碳化硅构造而成。
- 流化床反应器内分段碳化硅衬的接合部设计-201410460564.3
- 马修·J·米勒;迈克尔·V·斯潘格勒;格拉尔德·A·泽宁戈尔;威廉姆·J·昂斯托特;沃尔特·J·施图平 - 陕西有色天宏瑞科硅材料有限责任公司
- 2014-09-11 - 2019-05-03 - C01B33/027
- 本发明公开了分段碳化硅衬，特别是在用于生产多晶硅覆层的颗粒材料的流化床反应器中使用的分段碳化硅衬，以及制造和使用所述分段碳化硅衬的方法。还公开了用于联结碳化硅区段的无污染粘合材料。一个或多个所述碳化硅区段可以由反应粘合的碳化硅构造而成。
- 生产用作锂离子可再充电电池中的阳极材料的硅颗粒的方法、用于方法的旋转反应器的用途以及通过方法生产的颗粒和用于操作方法的反应器-201780055747.9
- 沃纳·O·菲尔特维特 - 戴纳泰克工程有限公司
- 2017-09-19 - 2019-05-03 - C01B33/027
- 用于生产用作锂离子可再充电电池中的阳极材料的硅颗粒的方法，其特征在于以下步骤：a)任选地，将硅晶种颗粒和/或锂晶种颗粒引入可旋转反应器中，或在可旋转反应器中生产硅晶种颗粒或锂晶种颗粒或内部芯材，作为单独的任选步骤或作为包括于步骤b)中，b)将用于CVD的含硅的第一反应气体引入反应器中，将反应器设置为在CVD条件下旋转；在晶种颗粒上生长富含硅的芯颗粒，同时反应器以在所述芯颗粒上产生向心加速度的旋转速度旋转，向心加速度超过自然重力加速度至少1000倍，c)任选地，将第二反应气体、液体或材料引入步骤a)和步骤b)的反应器中，或引入步骤b)的芯颗粒已经被引入其中的第二反应器中；生长硅含量低于芯材的第二材料，并且第二反应气体、液体或材料不同于第一反应气体。本发明还提供了用作锂离子可再充电电池中的阳极材料的硅颗粒、用于所述方法的旋转反应器的用途以及用于操作所述方法的反应器。
- 一种多晶硅还原炉电极-201910150017.8
- 罗文富 - 厦门佰事兴新材料科技有限公司
- 2019-02-28 - 2019-04-16 - C01B33/027
- 本发明涉及一种多晶硅还原炉电极，包括能与石墨座锥孔配合的锥头及与锥头固定连接的电极体，将锥头一端称为上端，另一端称为下端，其特征在于，还包括陶瓷套筒，所述陶瓷套筒同轴套设在所述电极体上并且其上端与所述锥头密封连接，所述电极体中心设置有上端封闭的空腔并且在靠近上端处的侧壁上周向布置有若干通孔，冷却水从所述空腔的下端进入经由所述通孔从所述电极体与所述陶瓷套筒之间的间隙流出。由于冷却水可以从内壁和外壁对电极体进行冷却，因此提高了冷却效率，延长了电极的使用寿命；由于采用陶瓷套筒，使得电极体与炉体良好绝缘，因此杜绝了触电危险。
- 一种高纯硅烷CVD法连续制备纳米硅粉的工业化方法-201910000754.X
- 蔡前进;孟国均;李建设;李红彬;沈长丽 - 河南硅烷科技发展股份有限公司
- 2019-01-02 - 2019-04-12 - C01B33/027
- 本发明公开了一种高纯硅烷CVD法连续制备纳米硅粉的工业化方法，采用热解反应器对硅烷与氢气的混合气进行充分的热分解反应，采用冷却捕集器和过滤器对热分解反应产生纳米硅粉进行充分的收集，同时通过冷却捕集器对系统热量进行充分的回收利用，通过冷却器和鼓风机帮助系统气体实现循环使用，从而实现纳米硅粉的连续制备；本发明工艺流程简单，易工业化，获得的纳米硅粉纯度高、粒径均匀且粒径小于100nm，产品质量好；本发明不需要催化剂，操作温和，硅烷分解配以氢气为稀释气体，避免了第三组分的引入，防止了其他杂质的介入，产品纯度高；本发明流程便于操作，参数便于调整，具有较强的技术竞争力。
- 使用卧式反应器制造多晶硅的装置以及该多晶硅的制造方法-201580024951.5
- 张银洙;金正奎;金庾锡;柳振炯;李正雨 - 株式会社LG化学
- 2015-05-11 - 2018-12-25 - C01B33/027
- 本发明涉及一种多晶硅生产装置。该装置包括：卧式反应管，其位于隔热管中，并具有：出口，通过其供应包含含硅反应气体和还原气体的气体原料，出口，通过其排出残余气体，与所述气体原料接触的反应表面，以及多个底部开口，通过其排出由所述气体原料的反应而产生的熔融多晶硅；设置在所述卧式反应管中以提供额外的反应表面的一个或多个内部构件；以及适于加热所述卧式反应管的反应表面的第一加热设备。本发明还涉及一种使用所述装置的多晶硅生产方法。
- 多晶硅沉积炉-201510036538.2
- 程佳彪;茅陆荣;郑飞龙 - 上海森松新能源设备有限公司
- 2015-01-23 - 2018-12-04 - C01B33/027
- 本发明涉及晶体生长设备，公开了一种多晶硅沉积炉。包括：由底盘和外壳形成的炉体、至少一根进气管、数根硅芯和硅芯加热装置；进气管从底盘穿进炉体并分布于硅芯之间；进气管分为内层和外层：内层一端封闭形成一个进气腔，用于通入含硅气体，另一端与外部连通形成进气管路；进气腔上分布有不与外层导通的喷嘴，喷嘴连接进气腔和炉体，外层具有一个环绕内层的导热通道，导热通道内注有导热介质。通过对进气管结构的改进和针对该改进对炉体内硅芯的位置作了适应性的排布，有效地减少了含硅原料气体的自分解，提高了沉积率。
- 用于生产多晶硅颗粒的流化床反应器和方法-201680067862.3
- S·佩德龙 - 瓦克化学股份公司
- 2016-11-07 - 2018-08-31 - C01B33/027
- 本发明涉及一种用于生产颗粒形式的多晶硅的流化床反应器，所述反应器包括反应器容器，具有多晶硅的用于流化床的内部反应器管，所述反应器容器内的反应器底部，至少一个用于进给流化气体的底部气体喷嘴(9)，至少一个用于进给反应气体混合物的反应气体喷嘴，用于进给硅晶种颗粒的进给装置，以及用于颗粒多晶硅的排放管线，用于从所述反应器容器中引出反应器出口气体的构件，以及位于所述反应器容器和所述内部反应器管之间的间隙，其中在所述间隙中具有用于在所述内部反应器管中加热所述流化床的加热装置，以及还有绝缘材料。本发明的特征在于，在所述加热器和所述绝缘材料之间的所述间隙中存在辐射屏蔽体，并且所述间隙含有惰性气体。
- 硅烷移动床反应器以及采用该反应器生产颗粒多晶硅的方法-201610159426.0
- 许文;唐瑾;卢喆宇 - 中国成达工程有限公司
- 2016-03-21 - 2018-07-20 - C01B33/027
- 本发明公开了一种硅烷移动床反应器及生产颗粒多晶硅的方法，包括反应器壳体以及颗粒多晶硅加料管，所述多晶硅加料管的出料端口位于反应器壳体内，所述反应器壳体内分为上部的反应器分离区域以及下部的反应器反应区域，在所述反应器壳体上部分别设置有与反应器分离区域连通的氢气入口和尾气出口，在所述反应器壳体下部设置有多个与反应器反应区域连通的反应混合气进口，所述反应器壳体底部设置有物料出口。本发明采用了移动床堆积技术的方式生产颗粒多晶硅，其最主要的特点是将多晶硅颗粒和反应气的加热与加热后的多晶硅颗粒接触分解反应分开进行，并通过多次循环加热、反应后，使小粒径的多晶硅颗粒逐渐长大，从而获得我们需要的成品颗粒多晶硅产品。
- 液态硅生产装置及方法-201610938912.2
- 江宏富;蒋立民;马军;王荣跃;吕磊;周舟 - 江苏中能硅业科技发展有限公司
- 2016-10-25 - 2018-05-01 - C01B33/027
- 本发明公开了一种液态硅生产装置及方法，该装置包括依次连接的等离子发生器、反应器、硅液承载器和尾气分离系统，在反应器内依次存在气体冷凝区、液滴形成区和液滴生长区。该方法是使物料在装置内进行原子态物料‑微小硅液滴‑大的硅液滴‑硅液的转化，对大部分硅物质进行液态收集，只有很少一部分的硅物质形成硅微粉从尾气系统排出。采用本发明，能够直接得到高纯液态硅材料，操作工序简单，且允许液态硅材料直接输送到下游的铸锭工序、直拉单晶工序或者制备硅片等工序，能够极大降低多晶硅生产投资成本，保证生产装置稳定长周期运行，提高产量。
- 热量循环系统-201721332635.7
- 牟平 - 新疆大全新能源股份有限公司
- 2017-10-17 - 2018-04-24 - C01B33/027
- 本实用新型公开了一种热量循环系统，涉及多晶硅生产设备领域，主要目的是提供一种能够节约冷却介质的使用量的热量循环系统。本实用新型的主要技术方案为一种热量循环系统，包括加热部具有储存罐、第一进料管和气体管，气体管设置在加热部的顶部，加热部还具有加热器，加热器连接于储存罐，换热部包括罐体、进液管、第一排出管和第一连接管，罐体连接于气体管，进液管的一端连接于进液设备，另一端穿过罐体，并与第一排出管相互连接，排出管连接于罐体；冷却部的一端连接于第一连接管；回流部具有第二进料管、回流管和第二排出管，第二进料管连接于冷却部，回流管连接于加热部的顶部。本实用新型主要用于加工氯硅烷液体。
- 多晶硅的制备方法-201480059376.8
- H·沃赫纳 - 瓦克化学股份公司
- 2014-10-17 - 2018-04-13 - C01B33/027
- 本发明提供了一种制备多晶硅的方法，所述方法包括使多晶硅沉积于载体上，以获得多晶硅棒，或使多晶硅沉积于硅粒子上，以获得多晶硅颗粒，其中每种沉积都在位于1‑100000级的洁净室中的反应器中进行，其中将经过滤的空气通入到所述洁净室中。为了过滤，首先使所述空气由至少一个除去大于或等于1μm的粒子的过滤器中通过，然后由除去小于1μm的粒子的HEPA过滤器中通过。
- 多晶硅还原炉用新型石墨组件-201720606943.8
- 曾品华;陈卫卫 - 石嘴山市新宇兰山电碳有限公司
- 2017-05-27 - 2018-02-27 - C01B33/027
- 一种多晶硅还原炉用新型石墨组件，包括卡帽、卡座、卡瓣，所述卡瓣的高度不高于卡帽的顶部的最高高度，本实用新型中，降低了卡瓣的高度，在卡瓣中间固定的硅芯完全暴露在还原炉的高温气氛中，而卡瓣周围的高温气氛较少，温度较低，多晶硅只会围绕硅芯生长，而不容易在卡瓣上沉积生长，这样在多晶硅棒生长的过程中，硅芯底部的卡瓣上不会生长多晶硅，生长完成的多晶硅棒内部不包含石墨卡瓣，从而也解决了碳头料浪费的问题，使用本实用新型的石墨组件，硅芯底部的卡瓣上不会生长多晶硅，比较于现有技术，至少可以减少20mm的碳头料的损失。
- 流化床反应器和用于生产多晶硅颗粒的方法-201680036152.4
- 西蒙·佩德龙;伯恩哈德·鲍曼 - 瓦克化学股份公司
- 2016-11-09 - 2018-02-16 - C01B33/027
- 本发明涉及用于生产多晶硅颗粒的流化床反应器，包括反应器容器(1)、反应器容器(1)内的反应器管(2)和反应器底部(15)。反应器管(2)由主要部分和表面涂层组成，并且中间壳体(3)位于反应器管(2)的外壁和反应器容器(1)的内壁之间。流化床反应器进一步包括加热装置(5)、用于供应流化气体的至少一个底部气体喷嘴(9)、用于供应反应气体的至少一个第二气体喷嘴(10)、用于供应硅晶种颗粒的供应装置(11)、用于多晶硅颗粒的移除线(14)和用于排出反应器废气(16)的装置。本发明的特征在于反应器管的主要部分由灰含量<2000ppmw的基础材料组成，并且表面涂层是厚度为5μm至700μm的CVD涂层，至少99.995wt.％的所述涂层由碳化硅组成。
- 一种硅粉的制备设备-201310220878.1
- 林朝晖;庄辉虎 - 福建省辉锐材料科技有限公司
- 2013-06-05 - 2018-02-02 - C01B33/027
- 本发明适用于化学合成技术领域，提供了一种硅粉的制备设备，所述设备包括反应腔室、射频电源、抽真空系统、喷淋电极及传送带衬底机构。本发明采用等离子体增强化学气相沉积（PECVD）设备，借助射频装置使带含硅气体局部形成等离子体，利用等离子体化学活性强的特点，使得硅原子基团分解而沉积在衬底上形成团簇进而结成粉末，产量大、得到的硅粉质量高。
- 一种快速制备硅纳米粒子的方法及硅纳米粒子-201710448091.9
- 易衫;代建国;唐勇军;朱俊晨 - 深圳职业技术学院
- 2017-06-14 - 2017-11-03 - C01B33/027
- 本发明公开一种快速制备硅纳米粒子的方法及硅纳米粒子，其中，所述快速制备硅纳米粒子的方法包括步骤A、向预先配置好的有机醇溶液中添加碱性化合物，生成混合液；B、向所述混合液中加入硅酸乙酯，搅拌1‑120min后，得到反应后液；C、对所述反应后液进行固液分离，将分离后的固体进行水洗、干燥处理，即得到硅纳米粒子。解决了现有技术中无法快速合成粒径均一的硅纳米粒子的问题。
- 制造硅中空体的方法-201510840124.5
- J.E.朗;H.劳莱德;J.莱比纳;J.M.佩雷斯 - 赢创德固赛有限公司
- 2015-11-27 - 2017-11-03 - C01B33/027
- 本发明涉及通过在非热等离子体中、借助热解、电磁能的引入或在光弧中转化至少一种硅烷、然后分散在润湿剂中并蒸馏、然后在腐蚀过程中转化来制造具有含硅外壳的中空体的方法。
- 锥形流化床反应器及其使用方法-201380044277.8
- 约翰·V·布奇;雷蒙德·安东尼·库科;马克斯·E·德蒂亚;帕特里克·J·哈德;S·B·雷迪·卡里;泰德·M·诺尔顿;迈克尔·J·莫尔纳 - 赫姆洛克半导体运营有限责任公司
- 2013-08-26 - 2017-09-05 - C01B33/027
- 本发明涉及一种流化床反应器，其包括气体分配器、位于所述气体分配器上方的锥形区段以及位于所述锥形区段上方的扩展头部。所述气体分配器限定多个围绕产物抽吸管的入口，所述产物抽吸管远离所述流化床反应器延伸。所述流化床反应器可用于诸如Geldart B类颗粒和/或Geldart D类颗粒的相对大的颗粒的流化方法，其中所述颗粒处于完全或部分地位于所述锥形区段中的鼓泡流化床中。所述流化床反应器和方法可用于制造多晶硅。
- 一种硅烷法制备多晶硅的设备-201510046624.1
- 王晓静;李文艳;苏伟;张灿;张芳 - 天津大学
- 2015-01-29 - 2017-07-11 - C01B33/027
- 本发明涉及一种硅烷分解法多晶硅制备设备；包括硅烷分解炉底盘、硅烷分解炉炉体和硅烷分解炉顶盘；底盘均布若干对电极，底盘上电极按正六边形排布；硅烷分解炉内部悬挂若干个热管，热管个数根据硅棒个数而定；硅烷分解炉热管分布在硅棒周围；硅烷分解炉顶盘上部设有冷却装置，热管上段设置在冷却装置中固定密封；顶盘热管与电极的排布采用正六边形对应排布，底盘内部电极每一个电极由6个热管环布其周围。底盘上硅芯的排布更密集、更均匀，硅芯与硅芯之间相互热辐射作用强烈，降低硅芯的热辐射损失，进一步减小不同硅芯表面之间的温度差，使各个硅芯的温度趋向平均，保证各个硅芯的生长情况比较一致，提高多晶硅产品的质量，达到光伏产业的标准。
- 专利分类
