[发明专利]裂片设备及裂片方法

摘要

本发明公开了一种裂片设备及裂片方法，该裂片设备用于对待裂片基板沿切割线进行裂片工艺，待裂片基板沿切割线的两侧形成裂片部和预留部，裂片设备包括：缓冲组件，包括至少一个缓冲块，缓冲块具有相对设置的底面、撞击面及连接于底面与撞击面的侧面，底面与侧面至少部分相交形成应力聚集部，缓冲组件通过底面作用于待裂片基板的裂片部，应力聚集部对应于待裂片基板的切割线；撞击组件，包括至少一个顶针，撞击组件通过顶针撞击该撞击面，缓冲组件将顶针的点状撞击力转换为面状撞击力传递至待裂片基板，以使待裂片基板沿切割线进行裂片。本发明公开的裂片设备在对基板进行裂片过程中，能够使基板沿切割线进行裂片，残留量小，且可以避免崩角不良。

主权项

1.一种裂片设备，用于对待裂片基板沿切割线进行裂片工艺，所述待裂片基板沿切割线的两侧形成裂片部和预留部，其特征在于，所述裂片设备包括：缓冲组件，包括至少一个缓冲块，所述缓冲块具有相对设置的底面、撞击面及连接于所述底面与所述撞击面的侧面，所述底面与所述侧面至少部分相交形成应力聚集部，所述缓冲组件通过所述底面作用于待裂片基板的所述裂片部，所述应力聚集部对应于所述待裂片基板的所述切割线；撞击组件，包括至少一个顶针，所述撞击组件通过所述顶针撞击所述撞击面，所述缓冲组件将所述顶针的点状撞击力转换为面状撞击力传递至所述待裂片基板，以使所述待裂片基板沿所述切割线进行裂片。