[发明专利]金刚石膜刻蚀方法、图形化金刚石膜及其应用有效

申请号：	202010374585.9	申请日：	2020-05-06
公开（公告）号：	CN113621947B	公开（公告）日：	2023-06-20
发明（设计）人：	杨国永;江南;马洪兵;王博;褚伍波	申请（专利权）人：	宁波材料所杭州湾研究院;中国科学院宁波材料技术与工程研究所
主分类号：	C23C16/56	分类号：	C23C16/56;C23C16/27;C23C16/02
代理公司：	北京元周律知识产权代理有限公司 11540	代理人：	刘洁
地址：	315336 浙江***	国省代码：	浙江;33
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摘要：	本申请公开了一种金刚石膜刻蚀方法、图形化金刚石膜及其应用，所述方法包括：将基片置于腔体内，所述基片包括硅片和金刚石膜，所述硅片的一面设有由沟槽形成的图形，所述金刚石膜覆盖在所述硅片的沟槽所在的表面上且填充满所述沟槽；在所述腔体内形成等离子体对所述基片进行刻蚀，得到图形化金刚石膜，其中，所述刻蚀的具体条件包括：H2和O2作为气源，且O2的流量为H2流量的1～6％；微波作为能量源，且微波功率为3～8KW；刻蚀温度为600～700℃。该方法无需设置掩体，刻蚀完成后直接形成图形化金刚石膜，无需再去除掩体，操作简单、效率高。
搜索关键词：	金刚石刻蚀方法图形及其应用
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摘要：本实用新型公开了一种用于生产硅氧负极材料基于CVD工艺的加工设备，涉及CVD工艺加工设备领域，针对现有的加工设备存在的稳定性差，气密性不好，存在安全隐患，产品合格率低，生产连续性无法保证，无法烧成硅氧负极材料电池材料的问题，现提出如下方案，其包括加热结构，所述加热结构包括加热室、燃气燃烧嘴、加热驱动马达、加热旋转框和辅热板，所述加热结构侧壁安装有自动供料机，所述加热结构远离自动供料机的一侧安装有过筛结构，所述过筛结构包括过筛板和导料管，所述过筛结构顶端安装有排气结构。本实用新型结构新颖，且密封性好，加热速度快，安全性高，维护更换速度快，避免空气污染，保护大气环境，原料二次回收利用，成本低。

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摘要：一种基于氢离子刻蚀反应辅助激光刻蚀的金刚石微加工方法，包括：对金刚石试样表面进行预处理，去除表面杂质；将激光光束聚焦在预处理后的金刚石试样表面，进行激光辐照处理，将金刚石试样表层金刚石成分诱变为石墨化成分；对经过激光辐照处理的金刚石试样进行氢离子刻蚀反应，将金刚石试样表面经过激光辐照诱变产生的石墨化成分选择性去除，实现对金刚石试样的微加工。本发明通过采用激光对金刚石试件表面进行石墨化诱变，随后采用氢离子刻蚀选择性去除金刚石试件表面激光诱变的石墨化成分，避免了常规激光刻蚀过程中金刚石表面出现杂质残留和破碎崩边等损伤，显著提升了金刚石微加工的质量和精度。

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摘要：本发明公开了热化学气相沉积处理。具体而言，热化学气相沉积处理的制品包括基材和所述基材上的疏油处理层，所述疏油处理层具有氧、碳、硅、氟和氢。所述疏油处理层的处理厚度小于600nm并具有不均匀的润湿机制。所述热化学气相沉积方法包括将制品放置在热化学气相沉积室内，使二甲基硅烷热反应以产生层，氧化所述层以产生氧化层，并对该氧化层进行氟官能化以产生经氧化然后氟官能化的二甲基硅烷化学气相沉积处理层。所述经氧化然后氟官能化的二甲基硅烷化学气相沉积处理层的处理厚度小于600nm并具有不均匀的润湿机制。

一种用于在线镀膜玻璃生产的保温装置-201821363270.9
发明人：阮洪良 -专利权人：福莱特玻璃集团股份有限公司
申请日： 2018-08-23 - 公布日： 2019-05-24 - 主分类号： C23C16/56
摘要：本实用新型提供了一种用于在线镀膜玻璃生产的保温装置，属于机械技术领域。它解决了现有技术无法浮法在线镀膜过程中对高温液态原料的定量输送和管线吹扫的问题。本保温装置包括具有内腔的箱体，箱体上方开设有排气口，箱体的正面设有活动门，箱体背面设有蒸汽控制回路，蒸汽控制回路穿过箱体的侧壁进入箱体的内腔，箱体的内腔内设有蒸汽散热器和原料输送管路，蒸汽散热器和蒸汽控制回路连通，原料输送管路设在蒸汽散热器下方，箱体的侧壁上设有多个管道预留孔位，原料输送管路的入口和出口分别和对应的管道预留孔位接通。本保温装置对高温液态原料保温效果好且计量准确。

一种MOCVD设备的冷却装置-201821468148.8
发明人：董金矿;黄文宾;汪玉;周宏敏;史志结;林兓兓;蔡吉明 -专利权人：安徽三安光电有限公司
申请日： 2018-09-10 - 公布日： 2019-05-14 - 主分类号： C23C16/56
摘要：本实用新型属于半导体设备领域，尤其涉及一种MOCVD设备的冷却装置，其至少包括放置石墨盘的底座，所述底座边缘凸起形成支撑架，其特征在于：所述底座上表面具有复数个间隔排列的支撑柱，所述支撑架和支撑柱用于承载石墨盘，所述支撑架内设置有贯通的冷却气体孔。本实用新型的冷却装置改变传统的单一水冷冷却方式，而采用支撑柱、冷却气体以及热传导结构对石墨盘上的晶片进行多种方式的快速冷却，从而提高冷却效率，提高LED的量产。

一种n型磷掺杂金刚石薄膜中去除氢杂质的仿真方法-201810180381.4
发明人：申胜男;刘胜;李辉;沈威;彭庆;严晗 -专利权人：武汉大学
申请日： 2018-03-05 - 公布日： 2019-04-09 - 主分类号： C23C16/56
摘要：本发明公开了一种n型磷掺杂金刚石薄膜中去除氢杂质的仿真方法，根据含时密度泛函与分子动力学理论，对n型磷掺杂金刚石薄膜模型进行第一性原理与分子动力学计算，模拟出激光场、温度场下模型中的价电子的光子吸收、价电子跃迁、化学键断裂，在此基础上，进一步提出了去除n型磷掺杂金刚石薄膜中的氢元素杂质的方法。计算出能够断裂磷氢键并去除氢杂质的飞秒激光的强度、频率以及温度的范围值。

一种用于在线镀膜玻璃生产的保温装置-201810965669.2
发明人：阮洪良 -专利权人：福莱特玻璃集团股份有限公司
申请日： 2018-08-23 - 公布日： 2019-03-08 - 主分类号： C23C16/56
摘要：本发明提供了一种用于在线镀膜玻璃生产的保温装置，属于机械技术领域。它解决了现有技术无法浮法在线镀膜过程中对高温液态原料的定量输送和管线吹扫的问题。本保温装置包括具有内腔的箱体，箱体上方开设有排气口，箱体的正面设有活动门，箱体背面设有蒸汽控制回路，蒸汽控制回路穿过箱体的侧壁进入箱体的内腔，箱体的内腔内设有蒸汽散热器和原料输送管路，蒸汽散热器和蒸汽控制回路连通，原料输送管路设在蒸汽散热器下方，箱体的侧壁上设有多个管道预留孔位，原料输送管路的入口和出口分别和对应的管道预留孔位接通。本保温装置对高温液态原料保温效果好且计量准确。

专利分类

C 化学；冶金

C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的

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[发明专利]金刚石膜刻蚀方法、图形化金刚石膜及其应用有效

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