[发明专利]一种热释电红外探测器的制备方法及热释电红外探测器有效
| 申请号： | 202010603835.1 | 申请日： | 2020-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN111864046B | 公开（公告）日： | 2021-10-19 |
| 发明（设计）人： | 欧欣;李忠旭;黄凯;赵晓蒙;李文琴;鄢有泉;陈阳 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 主分类号： | H01L37/02 | 分类号： | H01L37/02;H01L21/683;H01L23/544;G01J5/12 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 郝传鑫;贾允 |
| 地址： | 200050 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本申请提供一种热释电红外探测器的制备方法，包括：提供热释电衬底和支撑衬底；对热释电衬底进行第一预处理，在热释电衬底内构造损伤层，在热释电衬底表面形成第一电极；对支撑衬底进行第二预处理，在支撑衬底上形成锚点；将热释电衬底和支撑衬底进行键合，形成第一电极分别位于对应的锚点内的键合整体；将热释电衬底自损伤层处剥离，保留位于支撑衬底上的热释电薄膜；在热释电薄膜上沉积第二金属层并图形化处理形成第二电极；对形成有第二电极的键合整体进行封装处理，得到热释电红外探测器；本申请提供的制备方法简单，无需增加临时键合过渡层等材料；且热释电衬底与支撑衬底之间键合连接稳固；并且还能够提高热释电红外探测器的响应率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 热释电 红外探测器 制备 方法 | ||
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- 本发明公开了一种热电转换系统、封装方法、供电控制方法及装置，封装方法包括在具有热电耦合器件的热电冷却基板的正面制作覆盖所述热电冷却基板的电路层；将电源管理模块通过电路层与热电冷却基板进行组装电互连，电源管理模块包括充电电池单元和外接电源单元；将功率器件芯片通过电路层与热电冷却基板进行组装电互连，并通过电路层与电源管理模块电互连；将电源管理模块和功率器件芯片埋置在有机树脂层内。本发明，通过具有热电耦合器件的热电冷却基板将功率器件芯片在做功过程产生的热能转化成电能，并使用电能对电源管理模块的充电电池单元进行充电，从而实现减少热电转换系统内部的热量的同时，能够对热能进行回收利用，节能环保。
- 一种热释电红外探测器及其制备方法-201710747273.6
- 罗文博;孙杰西;吴传贵;帅垚;王韬;张开盛 - 电子科技大学
- 2017-08-28 - 2019-06-21 - H01L37/02
- 本发明属于电子材料与元器件技术领域，具体为一种热释电红外探测器及其制备方法。包括凹槽透光衬底、热释电层和键合层。本发明使用表面带有凹槽的透光衬底代替硅衬底，为使用常温、常压键合将衬底与单晶或陶瓷热释电敏感元进行集成提供了条件，实现了空气隙悬空绝热结构与单晶或陶瓷热释电敏感元集成；并在热释电敏感元制作凹槽、在敏感元内部形成一个绝热结构。本发明提供的热释电红外探测器，热性能好、可靠性高、工艺简单、成本低，且易于集成，探测性能好。
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