[发明专利]一种基于磁致法拉第旋光效应的加速度传感器有效
| 申请号： | 202010722797.1 | 申请日： | 2020-07-24 |
| 公开（公告）号： | CN111830283B | 公开（公告）日： | 2022-08-16 |
| 发明（设计）人： | 郭浩;刘俊;唐军;武亮伟;马宗敏;李中豪;温焕飞;石云波 | 申请（专利权）人： | 中北大学 |
| 主分类号： | G01P15/105 | 分类号： | G01P15/105 |
| 代理公司： | 太原科卫专利事务所(普通合伙) 14100 | 代理人： | 朱源;武建云 |
| 地址： | 030051*** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于磁致法拉第旋光效应的加速度传感器，具体为：双端固支悬臂梁质量块结构8的中心质量块上嵌入磁性薄膜7；悬臂梁质量块结构上方设有玻璃基底6，玻璃基底表面沉积有磁光晶体5，磁光晶体一端通过光纤Ⅰ4a连接起偏器3，起偏器的入射光方向设有平凸镜Ⅰ2a，平凸镜Ⅰ的入射光方向设有激光器1；磁光晶体另一端通过光纤Ⅱ4b连接弹光调制器10，弹光调制器的出射光方向依次设有检偏器11、平凸镜Ⅱ2b、光电探测器12、前置放大器13、锁相放大器14。当有加速度信号时，诱导磁性薄膜磁场变化，从而引起磁光晶体线偏振光发生旋光效应，产生旋光角，通过检测加速度诱导的磁致旋光角，实现对微弱加速度参数高精度测量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 法拉第 效应 加速度 传感器 | ||
【主权项】：
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- 张瑞;李孟委;宫美梅;金丽;辛晨光 - 中北大学
- 2019-12-30 - 2020-04-28 - G01P15/105
- 本发明属于加速度计技术领域，具体涉及一种基于磁膜的隧道磁阻MEMS加速度计结构及控制方法，底层结构包括整体支撑框架、加速度计检测梁、质量块，加速度计检测梁固定在整体支撑框架的内侧面，质量块通过加速度计检测梁固定在整体支撑框架的中央，中层结构包括磁膜阵列，磁膜阵列键合在质量块上，磁阻支撑框架固定在整体支撑框架的上方，磁阻基板通过支撑梁固定在磁阻支撑框架上，磁阻基板设置在质量块的正上方，磁阻基板上固定有隧道磁阻元件。本发明提出的加速度计利用磁膜阵列产生高变化率磁场，不需要外加激励，具有结构简单、灵敏度高、可靠性好，寿命长、制作成本低，功耗低等特点。本发明用于加速度的检测。
- 毛细管式磁性液体加速度传感器-202010009983.0
- 李德才;孙睿 - 清华大学
- 2020-01-06 - 2020-04-21 - G01P15/105
- 本发明公开了一种毛细管式磁性液体加速度传感器，包括两个夹持组件、毛细管、连通管、两个线圈和两个永磁体，其中，两个夹持组件分别设有储存磁性液体的储液腔；毛细管的两端分别固定在两个夹持组件上且分别与两个储液腔密封连通，以使两个储液腔中的部分磁性液体从毛细管的两端进入毛细管内形成两个磁性液柱，毛细管内位于两个磁性液柱之间设有气柱或与磁性液体不相溶的非磁性液柱；连通管的两端分别与两个储液腔密封连通；两个线圈相对间隔开地套设在毛细管的外周；两个永磁体分别固定在两个夹持组件上并分别与毛细管的两端端部相对。本发明毛细管式磁性液体加速度传感器具有稳定性好、磁路简单、测量结果准确且使用时效长等优点。
- 基于反馈电容力矩器的隧道磁阻式加速度计闭环控制电路-201920799916.6
- 杨波;张婷;梁卓玥;王斌龙 - 东南大学
- 2019-05-30 - 2020-04-14 - G01P15/105
- 本实用新型公开了基于反馈电容力矩器的隧道磁阻式加速度计闭环控制电路。包括隧道磁阻式加速度计结构、隧道磁阻传感器模块、仪表放大电路、解调滤波电路、PID控制电路、反馈力施加电路、加速度信号。隧道磁阻式加速度计具有灵敏度高、噪声性能好的优点；隧道磁阻传感器模块采用推挽式桥结构，可增大隧道磁阻传感器的检测灵敏度，抑制信号中的共模干扰；同时隧道磁阻传感器模块采用交流调制的工作方式，可消除空间中磁场的干扰；利用PID控制电路，进行误差信号的跟踪，直至误差信号消失，可快速的实现闭环系统的校正；采用差动电容力矩器实现反馈力校正，可将惯性质量块约束在中心位置附近，实现隧道磁阻式加速度计的闭环控制，增大系统的稳定性。
- 一种隧道磁阻检测的三轴加速度计装置-201911281780.0
- 张瑞;秦世洋;李孟委;金丽 - 中北大学
- 2019-12-13 - 2020-03-27 - G01P15/105
- 本发明属微惯性导航的技术领域，具体涉及一种隧道磁阻检测的三轴加速度计装置。一种隧道磁阻检测的三轴加速度计装置，主要结构由键合基板、支撑框架、敏感质量块、检测梁、连接块、悬臂梁、检测磁体、隧道磁阻元件、信号线组成，在支撑框架上设置敏感质量块、检测组合梁、悬臂梁，在敏感质量块上设置检测磁体，所述敏感质量块、及位于敏感质量块两侧的检测组合梁共同构成矩形体检测结构，所述矩形体检测结构位于三轴加速度计装置整体结构检测方向的轴线方向上，实现高精度的加速度检测。此装置结构对微弱磁场变化具有高灵敏特性，设计合理、简单，易单片集成，适合微型化。
- 一种磁珠式加速度传感器-201920399898.2
- 高忠康 - 温州佳得智能科技有限公司
- 2019-03-27 - 2019-10-25 - G01P15/105
- 本实用新型涉及一种磁珠式加速度传感器，包括具有空腔的壳体以及卡接在壳体上的盖体，空腔内设有条形柱和霍尔传感器，条形柱内设有滚道，滚道内设有能够与霍尔传感器的感应探头形成非接触式感应的磁性滚珠，磁性滚珠可在滚道内自由滚动。在汽车启动的时候，霍尔传感器会第一时间获取滚珠在滚道内的移动信息，从而第一时间获取汽车的移动信号，能够获取低加速时移动信号，反应更加灵敏，避免出现漏检的问题，性能更加稳定，其结构简单，所需配件少，具有成本低廉，安装便捷，便于推广的优点。
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