[发明专利]一种可测量微米级别反射和透射光学相位的系统在审
| 申请号： | 202110433253.8 | 申请日： | 2021-04-22 |
| 公开（公告）号： | CN113176000A | 公开（公告）日： | 2021-07-27 |
| 发明（设计）人： | 肖淑敏;赖方兴;范宇斌;宋清海 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学（深圳） |
| 主分类号： | G01J9/02 | 分类号： | G01J9/02 |
| 代理公司： | 深圳市添源知识产权代理事务所(普通合伙) 44451 | 代理人： | 于标 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市南*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种可测量微米级别反射和透射光学相位的系统，包括相位测量系统，相位测量系统包括准直光源发生器、红外光源产生器、第一反射镜、第二反射镜、第五反射镜、第六反射镜、第一小孔、分光装置、光电探测设备，准直光源发生器用于产生准直光源，准直光源依次经过第一反射镜、第二反射镜进行调制后再依次通过第一小孔、分光装置，最后在光电探测设备上得到干涉条纹；红外光源产生器用于产生红外光源，红外光源依次经过第五反射镜、第六反射镜、第二反射镜后再通过第一小孔、分光装置，最后在光电探测设备上得到光斑干涉。本发明的有益效果是：本发明的系统可以进行不同波段相位的测量，而且可以测量微米级别的超表面结构的相位。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 可测量 微米 级别 反射 透射 光学 相位 系统 | ||
【主权项】：
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