[发明专利]差分电容式MEMS麦克风及其制造方法在审
| 申请号： | 202210332986.7 | 申请日： | 2022-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN116939453A | 公开（公告）日： | 2023-10-24 |
| 发明（设计）人： | 冯栋 | 申请（专利权）人： | 无锡华润上华科技有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/00 | 分类号： | H04R19/00;H04R19/04;H04R31/00 |
| 代理公司： | 华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 虞凌霄 |
| 地址： | 214028 江苏省无*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明涉及一种差分电容式MEMS麦克风及其制造方法，所述麦克风包括：衬底，包括第二背板；第一支撑层，设于所述衬底上；振膜，设于所述第一支撑层上；第二支撑层，设于所述振膜上；第一背板，设于所述第二支撑层上，所述振膜位于所述第一背板和第二背板之间；其中，所述振膜和第一背板形成的第一电容用于输出第一电容值信号，所述振膜和第二背板形成的第二电容用于输出第二电容值信号，所述第一电容值信号和第二电容值信号构成差分信号。本发明利用衬底的一部分结构作为第二背板，因此第二背板本身不会造成麦克风的厚度增加。并且振膜与第一背板、第二背板形成的电容输出的电容信号构成差分信号，可以提高麦克风的信噪比。 | ||
| 搜索关键词： | 电容 mems 麦克风 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
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- 提供了一种声换能装置及电子设备。声换能装置包括衬底和压电薄膜，压电薄膜和衬底层叠设置。压电薄膜具有相互连接的连接区和悬臂区，压电薄膜通过连接区与衬底固定连接，悬臂区悬空。悬臂区设置有缝隙结构，缝隙结构与连接区连接。在采用上述结构时，压电薄膜可以通过连接区与衬底固定连接，缝隙结构可以与连接区连接，缝隙结构可以减弱压电薄膜受到的约束，从而压电薄膜的固定方式为低刚度固定方式，这样可以改善压电薄膜作为声学器件振膜的顺性，可以降低压电薄膜的低频谐振频点，实现器件响应频宽向中低频段下潜，提升器件的中低频性能，器件响应频宽得到扩展，覆盖频段较宽，不同频段性能均比较优越。
- 麦克风结构及电子设备-202221245603.4
- 请求不公布姓名;张敏 - 苏州敏芯微电子技术股份有限公司
- 2022-05-23 - 2023-04-18 - H04R19/00
- 本实用新型涉及一种麦克风结构及电子设备，其中麦克风结构包括基底，电路模块，以及声波感测封装组件，基底具有相对的第一表面和第二表面，电路模块以及声波感测封装组件均设置在基底的第一表面上；其中，电路模块的输入端与声波感测封装组件的供电电压端连接，电路模块的输出端与声波感测封装组件的信号输出端连接，并且基底的第二表面上设置有与供电电压端电连接的第一焊盘，以及与声波感测封装组件的接地端电连接的第二焊盘，从而使得麦克风结构的焊接电极由三个变为两个，从而扩大了麦克风的应用范围。
- 微机电声音换能器系统-202210973810.X
- 埃里格·卢茨;科赫·蒂尔曼 - 阿里索系统有限公司
- 2022-08-15 - 2023-04-11 - H04R19/00
- 本发明涉及一种实施为片上系统或系统级封装的微机电扬声器。微机电扬声器包括实现为微机电系统(MEMS)的微机电声音产生装置和安装在盖上或集成在盖中的麦克风，其中，麦克风定位成与盖的声音出口开口中的一个相邻。MEMS包括形成在平面盖、平面基座和设置在盖和基座之间的周向侧壁之间的空腔。MEMS还包括用于产生声音的多个可移动致动器。致动器设置在盖和基座之间的空腔中，并且其中，盖和基座具有多个声音出口开口，以分别在横向于盖和基座的方向上发出声音。
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