[发明专利]一种凝胶注模制备IGZO旋转靶材的制备方法有效
| 申请号： | 202310618514.2 | 申请日： | 2023-05-30 |
| 公开（公告）号： | CN116332625B | 公开（公告）日： | 2023-08-18 |
| 发明（设计）人： | 孔伟华;刘秉宁;刘洪强 | 申请（专利权）人： | 江苏东玖光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C04B35/01 | 分类号： | C04B35/01;C04B35/622;C04B35/624;C23C14/34;C23C14/08 |
| 代理公司： | 南京佰腾智信知识产权代理事务所(普通合伙) 32509 | 代理人： | 任丽丽 |
| 地址： | 221200 江苏省徐州市睢宁县*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本申请涉及IGZO旋转靶制备技术领域，具体公开了一种凝胶注模制备IGZO旋转靶材的制备方法。该制备方法包括以下步骤：（1）将纳米氧化铟、纳米氧化镓、纳米氧化锌、去离子水、官能团单体、分散剂、引发剂、催化剂湿法球磨，得到浆料；（2）将浆料和IGZO溶胶混合，依次在100‑120℃和190‑210℃的条件下加热，脱模后得到毛坯；（3）对毛坯依次进行加热脱脂、烧结，将烧结产物粘合在不锈钢管材表面，得到IGZO旋转靶材。本申请限制了纳米氧化铟、纳米氧化镓、纳米氧化锌在加热脱脂和烧结过程中的进一步团聚，得到了致密度更高的IGZO靶材。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 凝胶 制备 igzo 旋转 方法 | ||
【主权项】：
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