[发明专利]一种MEMS谐振器特征提取电路及提取方法在审
| 申请号： | 202310934422.5 | 申请日： | 2023-07-27 |
| 公开（公告）号： | CN116930717A | 公开（公告）日： | 2023-10-24 |
| 发明（设计）人： | 雷永庆;朱雁青;康力;李明 | 申请（专利权）人： | 麦斯塔微电子（深圳）有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28;H03M1/12;H03H11/16;H03G3/30 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 余明伟 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市福田区梅林街*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明提供一种MEMS谐振器特征提取电路及提取方法包括：MEMS谐振器的驱动接口基于接入的驱动信号产生阻尼振荡信号；预处理模块将阻尼振荡信号进行转换并放大，输出第一信号；调节模块对接入的第一信号进行相位调节，并基于MEMS谐振器的特征参数调节环路增益生成驱动信号；信号处理模块降低第一信号的损耗，并对第一信号的波形和包络进行采样；主控模块通过处理第一信号的波形及包络信息以提取MEMS谐振器的特征参数。通过调节模块动态调整MEMS谐振器特征提取电路的相位差和净增益，消除晶圆在不同位置上MEMS谐振器因工艺偏差而引起的巨大阻抗和品质因数差异，减少了MEMS谐振器激发时间，获取特征参数的成功率与准确率得到大幅度提高，具有广泛的适用性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 谐振器 特征 提取 电路 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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