[发明专利]具有大范围和高深-宽比测量能力的扫描隧道显微镜无效
| 申请号： | 201110338282.2 | 申请日： | 2011-11-01 |
| 公开（公告）号： | CN102384986A | 公开（公告）日： | 2012-03-21 |
| 发明（设计）人： | 居冰峰;陈远流;张威;朱吴乐;杨舜尧 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | G01Q60/14 | 分类号： | G01Q60/14 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人： | 张法高 |
| 地址： | 310027 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开一种具有大范围和高深-宽比测量能力的扫描隧道显微镜。L型基座底板、第一转接板、X轴手动平移台、Y轴手动平移台、X轴直流电动平移台、Y轴直流电动平移台、手动倾角台、第二转接板、样品台顺次相连，L型基座侧板上部设有第三转接板，第三转接板上顺次设有动平移台、Z轴直流电动平移台、压电陶瓷固定块，压电陶瓷固定块垂直设有压电陶瓷，压电陶瓷下端顺次设有前置放大电路单元、探针夹持机构和探针。本发明通过本发明将扫描隧道显微镜技术的测量范围从微米量级提升到毫米两级，深宽比测量能力从小于1:1提升到50:1以上，从而提高了扫描隧道显微技术在微纳测量领域的应用能力。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 范围 高深 测量 能力 扫描 隧道 显微镜 | ||
【主权项】：
一种具有大范围和高深‑宽比测量能力的扫描隧道显微镜，其特征在于包括L型基座（1）、第一转接板（2）、X轴手动平移台（3）、Y轴手动平移台（4）、X轴直流电动平移台（5）、Y轴直流电动平移台（6）、手动倾角台（7）、第二转接板（8）、样品台（9）、第三转接板（11）、Z轴手动平移台（12）、Z轴直流电动平移台（13）、压电陶瓷固定块（14）、压电陶瓷（15）、前置放大电路单元（16）、探针夹持机构（17）和探针（18）；L型基座（1）底板、第一转接板（2）、X轴手动平移台（3）、Y轴手动平移台（4）、X轴直流电动平移台（5）、Y轴直流电动平移台（6）、手动倾角台（7）、第二转接板（8）、样品台（9）顺次相连，L型基座（1）侧板上部设有第三转接板（11），第三转接板（11）上顺次设有Z轴手动平移台（12）、Z轴直流电动平移台（13）、压电陶瓷固定块（14），压电陶瓷固定块（14）垂直设有压电陶瓷（15），压电陶瓷（15）下端顺次设有前置放大电路单元（16）、探针夹持机构（17）和探针（18）。
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