[实用新型]一种抛光液供给位置核准装置和化学机械抛光系统有效
申请号: | 202023038234.5 | 申请日: | 2020-12-17 |
公开(公告)号: | CN214393776U | 公开(公告)日: | 2021-10-15 |
发明(设计)人: | 许振杰;梁清波 | 申请(专利权)人: | 华海清科股份有限公司 |
主分类号: | B24B37/34 | 分类号: | B24B37/34;B24B57/02;B24B49/00 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 300350 天津市津*** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种抛光液供给位置核准装置和化学机械抛光系统,所述抛光液供给位置核准装置包括固定座和水平板,所述固定座可拆卸地设置于抛光盘的外周壁,所述水平板连接于所述固定座的顶部并朝向抛光盘的中心设置;所述水平板设置于抛光垫与抛光液供给臂之间,抛光液经由所述抛光液供给臂的端部滴落至所述水平板的顶面,水平板的顶面设置有刻度线以量测抛光液的滴落位置。 | ||
搜索关键词: | 一种 抛光 供给 位置 核准 装置 化学 机械抛光 系统 | ||
【主权项】:
暂无信息
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