[实用新型]基板研磨装置有效
| 申请号： | 202122890192.6 | 申请日： | 2021-11-19 |
| 公开（公告）号： | CN216657547U | 公开（公告）日： | 2022-06-03 |
| 发明（设计）人： | 禹相政 | 申请（专利权）人： | 凯斯科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/10 | 分类号： | B24B37/10;B24B37/013;B24B49/12;B24B37/34;B24B37/30;B24B49/10 |
| 代理公司： | 北京冠和权律师事务所 11399 | 代理人： | 朱健 |
| 地址： | 韩国京畿*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 公开了一种基板研磨装置。根据一个实施例的对包含金属薄膜层的基板进行研磨的基板研磨装置，可包括：研磨垫，其表面与基板相接触，用于对基板进行研磨；光检测部，其包括光源和收光部，其中，光源将光照射到与基板相对向的研磨垫的背面，收光部对从研磨垫的背面反射的光进行接收；以及监控部，其通过对光检测部接收的光的强度变化进行分析来分析基板是否到达研磨终点。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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