[发明专利]操作带电粒子枪的方法、带电粒子枪和带电粒子束装置在审
| 申请号： | 202180011956.X | 申请日： | 2021-01-07 |
| 公开（公告）号： | CN115280458A | 公开（公告）日： | 2022-11-01 |
| 发明（设计）人： | D·温克勒 | 申请（专利权）人： | ICT半导体集成电路测试有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/073 | 分类号： | H01J37/073;H01J37/21;H01J37/18 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 汪骏飞;侯颖媖 |
| 地址： | 德国海*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 描述一种操作带电粒子枪(102)的方法。所述方法包括：在所述带电粒子枪内设置处于第一发射极电位的发射极(122)，并且在所述带电粒子枪内设置处于第一电极电位的捕获电极(142)，其中所述第一发射极电位和所述第一电极电位被设置以在所述发射极处且在所述捕获电极处具有基本为零的电场；将所述捕获电极从所述第一电极电位切换至与所述第一电极电位不同的第二电极电位，以在所述捕获电极处生成静电捕获场；以及在将所述捕获电极从所述第一电极电位切换至所述第二电极电位之后，开启所述发射极处的静电发射场。 | ||
| 搜索关键词： | 操作 带电 粒子 方法 粒子束 装置 | ||
【主权项】：
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- 孙占峰 - 北京中科科仪股份有限公司
- 2015-07-27 - 2017-05-31 - H01J37/073
- 本发明公开一种场发射电子枪烘烤装置和一种电子枪室的烘烤方法，其中热源设置在电子枪室内部，优选的靠近相关零件设置，直接对零件热辐射，从而提高导热效率，使相关零件表面的气体分子充分逸出，这样在电子枪室处于工作状态时，电子枪室内的真空度将不会有明显降低；在现有技术方案中，由于电阻丝在加热过程中会释放气体，因此为了避免电阻丝释放气体导致电子枪室内的真空度下降，因此电阻丝只能够设置在电子枪室的外部，造成加热效率低，部分零件温升不足、部分零件过热的技术缺陷。而本发明的场发射电子枪烘烤装置恰恰克服了上述技术偏见，将热源设置在电子枪室内对零件进行烘烤，克服了现有技术采用加热带加热，热辐射效果不好的技术缺陷。
- 电子枪、带电粒子枪及利用该电子枪、带电粒子枪的带电粒子束装置-201480023185.6
- 今井悠太;大岛卓;森下英郎 - 株式会社日立高新技术
- 2014-04-14 - 2017-05-03 - H01J37/073
- 本申请的目的是提供仅使用静电透镜的比较小型而像差小的带电粒子枪，并提供在大电流下也具有高亮度的场发射型带电粒子枪。带电粒子枪具有带电粒子源；加速电极，其使从带电粒子源发射的带电粒子加速；控制电极，其配置在比加速电极靠近带电粒子源侧且具有比加速电极的开口直径大的开口直径；以及控制部，其根据施加于加速电极的电位对施加于控制电极的电位进行控制。
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