[发明专利]具有压电压力控制的抛光承载头在审
| 申请号： | 202180014450.4 | 申请日： | 2021-06-22 |
| 公开（公告）号： | CN115087518A | 公开（公告）日： | 2022-09-20 |
| 发明（设计）人： | B·J·布朗;A·J·纳耿加斯特;J·H·K·王 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | B24B37/30 | 分类号： | B24B37/30;B24B49/16;B24B49/10;H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 侯颖媖;张鑫 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种用于在抛光系统中固持基板的承载头具有：包括承载板的外壳、紧固至外壳的第一柔性膜、以及紧固至承载板的多个第二可独立操作的压电致动器。第一柔性膜具有上表面，并且具有提供基板安装表面的下表面。压电致动器定位在第一柔性膜上方，以便独立地调整第一柔性膜的上表面上的压缩压力。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 压电 压力 控制 抛光 承载 | ||
【主权项】：
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