[发明专利]固定环在审
| 申请号： | 202180046280.8 | 申请日： | 2021-06-11 |
| 公开（公告）号： | CN115916462A | 公开（公告）日： | 2023-04-04 |
| 发明（设计）人： | 利亚姆·S·罗伯特;埃里克·A·邦恩 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | B24B37/10 | 分类号： | B24B37/10 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本公开内容提供一种用于半导体基板抛光的固定环。固定环包括构造为接触抛光垫的底面和构造为附接到承载头的顶面。顶面包括多个螺孔和多个对准槽。顶面也包含第一插入件，第一插入件设置在多个对准槽中的第一对准槽中，第一插入件与顶面齐平或低于顶面，且其中第一插入件构造为防止对准销插入第一对准槽中。 | ||
| 搜索关键词： | 固定 | ||
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