[实用新型]一种单晶研磨机的可调防护机构有效
申请号: | 202221133790.7 | 申请日: | 2022-05-11 |
公开(公告)号: | CN217255472U | 公开(公告)日: | 2022-08-23 |
发明(设计)人: | 宋学瑞 | 申请(专利权)人: | 合肥先端晶体科技有限责任公司 |
主分类号: | B24B37/34 | 分类号: | B24B37/34;B24B41/06;B24B47/04 |
代理公司: | 合肥洪雷知识产权代理事务所(普通合伙) 34164 | 代理人: | 赵可 |
地址: | 230000 安徽省合肥市合肥*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种单晶研磨机的可调防护机构,涉及单晶硅片研磨技术领域。本实用新型包括安装基座,安装基座上固定有一对固定柱,且固定柱上配合有用于固定调节组件的紧固件;调节组件,调节组件包括转动设置于安装基座上的调节板A和调节板B;调节板A下方转动连接有滚筒A;调节板B下方转动连接有滚筒B;其中,滚筒A与滚筒B之间配合有单晶硅片;固定件,固定件固定于调节板A和调节板B之间。本实用新型通过安装基座、调节板A、调节板B和固定件的作用,解决了现有的单晶研磨机难以对不同尺寸的单晶硅片进行防护的问题。 | ||
搜索关键词: | 一种 研磨机 可调 防护 机构 | ||
【主权项】:
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