[实用新型]一种快速导流散热型硅研磨片

摘要

本实用新型公开了一种快速导流散热型硅研磨片，包括研磨转盘，研磨转盘的底部固定设有硅研磨片本体，研磨转盘的内壁等距离开设有多个冷却槽，每个冷却槽内壁的一侧均等距离开设有多个连接槽，研磨转盘的外壁等距离开设有多个出水孔，研磨转盘顶端的一侧开设有进水孔，且进水孔一端的内壁与其中一个冷却槽的内壁连通。本实用新型，在研磨转盘配合硅研磨片本体长时间加工打磨工件之后，硅研磨片本体上端的温度较高，此时将外接的水管与对接管对接，使得冷水通过进水孔进入冷却槽中，并通过连接槽流到导流，使得研磨转盘上端的温度急速下降，进而与硅研磨片本体接触使其上端的温度也快速降下，从而提高装置的实用性。