[发明专利]一种真空镀膜装置及真空镀膜方法在审
| 申请号： | 202310921910.2 | 申请日： | 2023-07-25 |
| 公开（公告）号： | CN116926476A | 公开（公告）日： | 2023-10-24 |
| 发明（设计）人： | 李庆伟;王浩 | 申请（专利权）人： | 奕瑞影像科技（海宁）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/04;C23C14/54;H01L27/146 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 余明伟 |
| 地址： | 314400 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本申请提供一种真空镀膜装置及真空镀膜方法。本申请提供的真空镀膜装置包括蒸发源、待镀基板、以及背板，所述待镀基板设置于所述蒸发源与所述背板之间，且在所述背板靠近和/或远离所述待镀基板的表面上设置温度调节机构，所述温度调节机构在所述背板上的形状按照预设图案形状设置。通过在背板上设置温度调节机构，可以在镀膜过程中实现待镀基板的温度分区，实现待镀材料在基板表面上的生长可控性，实现膜厚及膜质均一性，用于配合X射线的光束分布，提升整体图像的均一性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空镀膜 装置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于奕瑞影像科技（海宁）有限公司，未经奕瑞影像科技（海宁）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202310921910.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
