[发明专利]MEMS器件、液体喷射头以及液体喷射装置

摘要

本发明提供抑制了层压于压电体层上的上电极层的端部处的烧损等损坏的MEMS器件、液体喷射头以及液体喷射装置。MEMS器件具备：驱动区域，其具有下电极层、压电体层及上电极层依次层压所形成的压电元件，压电元件从驱动区域延伸到非驱动区域，且在该延伸方向上，下电极层及压电体层延伸到与上电极层相比靠外侧，覆盖延伸方向上的上电极层的端部的树脂部被层压在非驱动区域内的上电极层上以及形成在与该上电极层相比靠外侧处的压电体层上，与上电极层电连接的导电层层压在树脂部上及从该树脂部偏离出的区域内的上电极层上，上电极层的端部被形成在与导电层的树脂部侧的端部相比靠驱动区域侧处。

主权项

一种微机电系统器件，其特征在于，具备：驱动区域，其具有第一电极层、第一电介质层以及第二电极层依次被层压所形成的层压结构体，所述层压结构体从所述驱动区域延伸到与该驱动区域相比靠外侧的非驱动区域，并且在该延伸方向上，所述第一电极层以及所述第一电介质层延伸到与所述第二电极层相比靠外侧，对所述延伸方向上的所述第二电极层的端部进行覆盖的第二电介质层被层压在所述非驱动区域内的所述第二电极层上以及形成在与该第二电极层相比靠所述延伸方向的外侧处的所述第一电介质层上，与所述第二电极层电连接的第三电极层被层压在所述第二电介质层上以及从该第二电介质层偏离出的区域内的所述第二电极层上，在所述延伸方向上，所述第二电极层的端部被形成在与所述第三电极层的所述第二电介质层侧的端部相比靠所述驱动区域侧处。