[发明专利]具有抗等离子涂层的高功率低压紫外线灯泡在审
| 申请号： | 201780080124.7 | 申请日： | 2017-12-12 |
| 公开（公告）号： | CN110114852A | 公开（公告）日： | 2019-08-09 |
| 发明（设计）人： | 陈晓澜;马修·穆卓尔;柯蒂斯·贝利;史蒂芬·劳;米切尔·拉马尔 | 申请（专利权）人： | 朗姆研究公司 |
| 主分类号： | H01J61/20 | 分类号： | H01J61/20;H01J61/30 |
| 代理公司： | 上海胜康律师事务所 31263 | 代理人： | 李献忠;张静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 紫外线(UV)灯泡的外壳包括UV透射材料管，其配置成在管的内表面上包含UV发光材料和抗等离子涂层，其中涂层已经通过原子层沉积(ALD)沉积并且是唯一附着在管的内表面的材料。管可以是具有圆形形状的环形管并且涂层可以是ALD氧化铝涂层。UV透射材料可包括石英或熔融二氧化硅并且管可具有约1至约2mm的壁厚。涂层可具有不大于约200nm(如约120nm至160nm)的厚度。圆形管可形成圆环形状，其可以具有约200mm的外径并且管本身可具有约30mm的外径。ALD氧化铝涂层可以是无针孔的保形涂层。包括外壳的UV灯泡可含有汞和惰性气体，如氩气，其中UV灯泡内的压强低于100托。一种在半导体衬底上固化膜的方法，其包括将半导体衬底支撑在固化室中并将半导体衬底上的层暴露于由UV灯泡产生的UV辐射。其他用途包含半导体衬底表面清洁或对流体和物体的灭菌。 | ||
| 搜索关键词： | 灯泡 半导体 等离子涂层 氧化铝涂层 透射材料 内表面 衬底 半导体衬底表面 压强 针孔 熔融二氧化硅 低压紫外线 原子层沉积 氩气 保形涂层 衬底支撑 惰性气体 发光材料 圆环形状 圆形形状 高功率 固化膜 固化室 环形管 圆形管 灭菌 紫外线 壁厚 附着 流体 石英 沉积 清洁 暴露 配置 | ||
【主权项】：
1.一种紫外线(UV)灯泡的外壳，所述外壳包括：UV透射材料管，其配置为含有UV发光材料；以及在所述管的内表面上的抗等离子涂层，其中所述涂层已经通过原子层沉积(ALD)沉积并且是附着在所述管的所述内表面上的唯一材料。
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- 高鞫;谢灿生;张万镇 - 高鞫;谢灿生;张万镇
- 2010-06-07 - 2010-11-10 - H01J61/20
- 本发明公开了一种陶瓷投影灯，其包括放电腔及设于放电腔两端的电极管及通过电极管伸入放电腔内的电极组件，该放电腔及电极管由透明陶瓷材料制得，该电极组件通过焊料与电极管实现气密密封，该放电腔内填充有汞；该电极管包括相连接的内管段及焊接槽，该内管段靠近放电腔，焊接槽位于端面处，且焊接槽的内径较内管段大，焊接槽通过填充焊料实现放电腔的气密密封。本发明的陶瓷投影灯发光效率高且密封效果好。
- 高效节能灯-201020146129.0
- 张顺江 - 张顺江
- 2010-03-31 - 2010-11-03 - H01J61/20
- 本实用新型公开了一种高效节能灯，属于节能灯；旨在提供一种耗电少、使用寿命长的节能灯。它包括设有正极和负极的灯头、与该灯头固定连接的灯管；所述灯管由固定在灯头(5)上的绝缘玻璃外管(9)、固定在该绝缘玻璃外管中的导电玻璃管(8)、固定在该导电玻璃管中的绝缘玻璃内管(7)构成，该绝缘玻璃内管中设有与正极(1)电连接的正电极(6)以及与负极(2)电连接的负电极(10)，导电玻璃管(8)与负极(2)电连接；内壁涂覆有荧光粉绝缘玻璃内管(7)中密闭有汞蒸气，正电极(6)和负电极(10)上涂覆有电子粉。本实用新型具有发热量小、耗电少、使用寿命长等诸多优点，是一种高效节能电灯。
- 超高压水银灯-201010004598.3
- 笠石朱贵;塚本卓也;杉原伸彦;熊田丰彦 - 优志旺电机株式会社
- 2010-01-19 - 2010-08-04 - H01J61/20
- 本发明提供一种超高压水银灯，通过防止电极变形来切实地防止金属箔熔断。该超高压水银灯具有：由封入有0.2mg/mm3以上的水银的发光部和分别与上述发光部的两端连接的封固部构成的发光管；在上述发光部内相对配置并且由上述分别的封固部保持电极轴部的一对电极；以及分别埋设在上述封固部中并与上述分别的电极轴部电连接的金属箔，其特征在于，上述金属箔具有：包围上述电极轴部地固定在上述电极轴部上的覆盖部；与上述覆盖部接续并不与上述电极轴部连接地向着管轴方向外方延伸的延伸部；以及与上述延伸部连接的主体部。
- 荧光灯和背光单元-200910246607.7
- 松尾和寻;川崎充晴;荒田拓之;土生田祐子;桥本望;板垣克己;和田英树 - 松下电器产业株式会社
- 2006-07-28 - 2010-05-19 - H01J61/20
- 本发明涉及荧光灯和背光单元。荧光灯(20)包括其中封闭汞的玻璃灯泡(30)和形成在玻璃灯泡(30)内侧上的磷光体层(32)。磷光体层(32)包括三种磷光体颗粒，三种磷光体颗粒为通过紫外辐射被激发分别能发射红光、绿光和蓝光的红色磷光体颗粒(32R)、绿色磷光体颗粒(32G)和蓝色磷光体颗粒(32B)。蓝色磷光体颗粒(32B)和绿色磷光体颗粒(32G)具有吸收波长为313nm的紫外辐射的性质。
- 专利分类
